Experimentelle Untersuchungen zur Diffusion von Übergangsmetallen in amorphem Silizium und Germanium:
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1994
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1
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
5
2
GRUNDLAGEN
DER
DIFFUSION
7
2.1
MAKROSKOPISCHE
BESCHREIBUNG
.
7
2.1.1
DIFFUSIONSGLEICHUNG
.
7
2.1.2
ZEITABHAENGIGE
DIFFUSIONSKOEFFIZIENTEN
.
10
2.2
DIFFUSION
IN
KRISTALLINEN
FESTKOERPERN
.
11
2.2.1
DIFFUSIONSMECHANISMEN
.
11
2.2.2
DIFFUSIONSKOEFFIZIENTEN
.
12
2.2.3
SELBST
UND
FREMDDIFFUSION
IN
KRISTALLINEM
SILIZIUM
UND
GER
MANIUM
.
14
3
EIGENSCHAFTEN
AMORPHEN
SILIZIUMS
UND
GERMANIUMS
17
3.1
STRUKTURELLER
AUFBAU
.
17
3.2
ELEKTRONISCHE
ZUSTAENDE
.
19
3.3
EINBAU
VON
WASSERSTOFF
.
19
3.4
KRISTALLISATION
.
21
4
PROBENPRAEPARATION
23
4.1
ABSCHEIDEN
AMORPHEN
SILIZIUMS
UND
GERMANIUMS
.
24
4.2
PRAEPARATION
AMORPHER
SILIZIUM-UEBERGANGSMETALL-LEGIERUNGEN
.
27
4.3
IMPLANTATION
RADIOAKTIVEN
GOLDES
UND
PLATINS
.
28
2
INHALTSVERZEICHNIS
5
PROBENCHARAKTERISIERUNG
33
5.1
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
33
5.2
INFRAROTTRANSMISSIONS
UND
SEKUNDAERIONENMASSENSPEKTROSKOPIE
.
34
5.3
ROENTGEN-PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
.
37
6
TIEFENPROFILANALYSE
39
6.1
LONENSTRAHLZERSTAEUBUNG
.
39
6.2
KONZENTRATIONSBESTIMMUNG
.
40
7
MESSERGEBNISSE
43
7.1
DIFFUSION
VON
GOLD
UND
PLATIN
IN
AMORPHEM
SILIZIUM
.
43
7.1.1
IMPLANTATIONSPROFILE
.
43
7.1.2
DIFFUSION
VON
GOLD
IN
UNRELAXIERTEM
AMORPHEM
SILIZIUM
.
.
44
7.1.3
DIFFUSION
VON
GOLD
IN
RELAXIERTEN
A-SI:AU-LEGIERUNGEN
.
44
7.1.4
DIFFUSION
VON
GOLD
IN
UNRELAXIERTEM,
WASSERSTOFFHALTIGEM
AMOR
PHEM
SILIZIUM
.
45
7.1.5
DIFFUSION
VON
PLATIN
IN
RELAXIERTEM
A-SI:0,
5
AT.-%
PT
.
46
7.2
DIFFUSION
VON
GOLD
IN
AMORPHEM
GERMANIUM
.
46
7.2.1
IMPLANTATIONSPROFILE
.
46
7.2.2
DIFFUSION
VON
GOLD
IN
RELAXIERTEM
AMORPHEM
GERMANIUM
.
.
46
7.2.3
DIFFUSION
VON
GOLD
IN
UNRELAXIERTEM,
WASSERSTOFFHALTIGEM
AMOR
PHEM
GERMANIUM
.
47
8
INTERPRETATION
DER
MESSERGEBNISSE
49
8.1
AMORPHES
SILIZIUM
.
49
8.1.1
VERGLEICH
DER
DIFFUSION
VON
UBERGANGSMETALLEN
IN
KRISTALLINEM
UND
AMORPHEM
SILIZIUM
.
49
INHALTSVERZEICHNIS
3
8.1.2
SEICHTE
FALLEN
.
52
8.1.3
FALLEN
MITTLERER
TIEFE
.
52
8.1.4
TIEFE
FALLEN
.
54
8.1.5
STRUKTURRELAXATION
.
55
8.1.6
WASSERSTOIFHALTIGES
AMORPHES
SILIZIUM
.
56
8.2
AMORPHES
GERMANIUM
.
56
9
ZUSAMMENFASSUNG
59
LITERATURVERZEICHNIS
63
TABELLEN
67
ABBILDUNGEN
75
DANKSAGUNG
149
LEBENSLAUF
151 |
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