Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 123 Bl. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010082734 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19961203 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950228s1994 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 943391989 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75576194 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010082734 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-12 |a DE-29T |a DE-355 |a DE-706 |a DE-634 |a DE-11 |a DE-83 | ||
| 084 | |a FER 882d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 803d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Elstner, Beate |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme |c vorgelegt von Beate Elstner |
| 264 | 1 | |c 1994 | |
| 300 | |a 123 Bl. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Chemnitz, Zwickau, Univ., Diss., 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Molybdänsilicide |0 (DE-588)4271193-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Molybdänsilicide |0 (DE-588)4271193-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691964&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006691964 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812453892457234432 |
|---|---|
| adam_text |
3
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
VERZEICHNIS DER VERWENDETEN FORMELZEICHEN 5
DANKSAGUNG 9
1. EINLEITUNG UND AUFGABENSTELLUNG 10
2. SPUTTERTHEORIE 13
2.1. EINFUEHRUNG 13
2.1.1. EINFACHE MODELLE 13
2.1.2. OBERFLAECHENZUSAMMENSETZUNG UND 15
STRAHLENSCHAEDEN
2.1.3. STATISTISCHE MODELLE 16
2.2. DIE SPUTTERREGIME 17
2.3. DEFINITION DER SPUTTERKOEFFIZIENTEN 18
2.4. DER ENERGIEVERLUST DES IONS IM FESTKOERPER 19
2.5. DAS TRIMPROGRAMM 22
2.6. DAS SPUTTERN EINKOMPONENTIGER TARGETS 24
2.6.1. DIE SCHWELLENERGIE 24
2.6.2. DER SPUTTERKOEFFIZIENT EINKOMPONENTIGER 27
TARGETS
2.6.2.1. DIE ABHAENGIGKEIT DES SPUTTERKOEFFIZIENTEN 27
VON DER IONENENERGIE
2.6.2.2. DIE ABHAENGIGKEIT DES SPUTTERKOEFFIZIENTEN 29
VOM EINFALLSWINKEL DER IONEN
2.6.3. DIE DIFFERENTIELLEN SPUTTERKOEFFIZIENTEN 31
2.6.3.1. DIE WINKELVERTEILUNG GESPUTTERTER TEILCHEN 31
2.6.3.2. DIE ENERGIEVERTEILUNG GESPUTTERTER TEILCHEN 38
2.7. DAS SPUTTERN MEHRKOMPONENTIGER TARGETS 39
2.7.1. DIE AENDERUNG DER OBERFLAECHENZUSAMMENSETZUNG 39
DES TARGETS INFOLGE IONENBOMBARDIERUNG
2.7.2. DER PARTIELLE UND TOTALE SPUTTERKOEFFIZIENT 46
2.7.3. DIE DIFFERENTIELLEN SPUTTERKOEFFIZIENTEN 46
2.7.3.1. DIE WINKELVERTEILUNG GESPUTTERTER TEILCHEN 46
2.7.3.2. DIE ENERGIEVERTEILUNG GESPUTTERTER TEILCHEN 50
3.
THEORETISCHE MODELLIERUNG DER BESCHICHTUNGSVERFAHREN 51
3.1. THEORETISCHES MODELL ZUR BESTIMMUNG DER 51
LATERALEN VERTEILUNG DER TEILCHENSTROM
DICHTE BEIM PLANARMAGNETRONSPUTTERN EIN-
UND MEHRKOMPONENTIGER TARGETS
3.1.1. VORBETRACHTUNGEN 51
3.1.2. DAS MODELL 56
3.1.3. ZUORDNUNG VON TEILCHENSTROEMEN UND 62
SUBSTRATBELEGUNG
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/943391989
4
3.2. ANWENDUNG DES MODELLS AUF DAS SPUTTERN 64
MIT DER TRIODE
4
. EXPERIMENTELLER TEIL 66
4.1. DIE BESCHICHTUNGSANLAGEN 66
4.1.1. DAS MAGNETRON 66
4.1.2. DIE TRIODE 68
4.2. TARGETS, SUBSTRATPRAEPARATION UND 69
SCHICHTHERSTELLUNG
4.3. UNTERSUCHUNGSMETHODEN 7 0
4.3.1. DIE MASSENFLAECHENDICHTE 70
4.3.2. DIE ZUSAMMENSETZUNG DER SCHICHTEN 71
4.3.3. TARGETTIEFENPROFIL 74
4.3.4. SPEZIFISCHER WIDERSTAND UND SEIN 74
TEMPERATURKOEFFIZIENT
5.
VERGLEICH EXPERIMENTELLER RESULTATE MIT DEN BEROCH- 75
NETEN RADIALEN VERTEILUNGEN
5.1. DAS MAGNETRONSPUTTERN 7 5
5.1.1. DIE ELEMEMENTTARGETS MOLYBDAEN UND SILICIUM 75
5.1.1.1. DIE TARGETTIEFENPROFILE 75
5.1.1.2. DIE RADIALE VERTEILUNG DER 76
MASSENFLAECHENDICHTEN
5.1.2. DAS MOSI
2-TARGET 78
5.1.2.1. DAS TARGETTIEFENPROFIL 78
5.1.2.2. DIE RADIALE VERTEILUNG DER 79
TEILCHENFLAECHENDICHTEN
5.1.2.3. DIE RADIALE VERTEILUNG DER 83
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
5.1.2.4. DIE RADIALE VERTEILUNG DER 85
MASSENFLAECHENDICHTEN
5.1.2.5. DIE RADIALE VERTEILUNG DES SPEZIFISCHEN 86
WIDERSTANDES UND SEINES TEMPERATUR
KOEFFIZIENTEN
5.2. DAS TRIODENSPUTTERN MEHRKOMPONENTIGER 88
TARGETS
5.3. DISKUSSION 90
6. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 102
LITERATURVERZEICHNIS 106
SELBSTAENDIGKEITSERKLAERUNG 118
THESEN 119
LEBENSLAUF 123 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Elstner, Beate |
| author_facet | Elstner, Beate |
| author_role | aut |
| author_sort | Elstner, Beate |
| author_variant | b e be |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010082734 |
| classification_tum | FER 882d PHY 803d |
| ctrlnum | (OCoLC)75576194 (DE-599)BVBBV010082734 |
| discipline | Physik Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010082734</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19961203</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950228s1994 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">943391989</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75576194</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010082734</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 882d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 803d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Elstner, Beate</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Beate Elstner</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">123 Bl.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Chemnitz, Zwickau, Univ., Diss., 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Molybdänsilicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4271193-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Molybdänsilicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4271193-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691964&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006691964</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010082734 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:18:44Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006691964 |
| oclc_num | 75576194 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-634 DE-11 DE-83 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-634 DE-11 DE-83 |
| physical | 123 Bl. graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| record_format | marc |
| spelling | Elstner, Beate Verfasser aut Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme vorgelegt von Beate Elstner 1994 123 Bl. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Chemnitz, Zwickau, Univ., Diss., 1994 Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Molybdänsilicide (DE-588)4271193-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Molybdänsilicide (DE-588)4271193-9 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691964&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Elstner, Beate Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Molybdänsilicide (DE-588)4271193-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4208514-7 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4271193-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme |
| title_auth | Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme |
| title_exact_search | Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme |
| title_full | Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme vorgelegt von Beate Elstner |
| title_fullStr | Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme vorgelegt von Beate Elstner |
| title_full_unstemmed | Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme vorgelegt von Beate Elstner |
| title_short | Das Sputtern ein- und mehrkomponentiger Systeme |
| title_sort | das sputtern ein und mehrkomponentiger systeme |
| topic | Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Molybdänsilicide (DE-588)4271193-9 gnd |
| topic_facet | Magnetronsputtern Dünne Schicht Molybdänsilicide Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691964&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT elstnerbeate dassputterneinundmehrkomponentigersysteme |