Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1994
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zsfassung in engl. Sprache |
| Beschreibung: | 89 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010081257 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20150119 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950227s1994 gw ad|| tm|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 943476224 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75583516 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010081257 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-634 |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 084 | |a UN 5650 |0 (DE-625)146143: |2 rvk | ||
| 084 | |a MAS 990d |2 stub | ||
| 088 | |a KfK 5375 | ||
| 100 | 1 | |a Vollmer, Josef |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung |c J. Vollmer ; H. Hein. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe |
| 246 | 1 | 3 | |a KfK 5375 |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Kernforschungszentrum |c 1994 | |
| 300 | |a 89 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Zsfassung in engl. Sprache | ||
| 502 | |a Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. J. Vollmer, 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Fluidtechnik |0 (DE-588)4154793-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektrische Steuerung |0 (DE-588)4113412-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Fluidtechnik |0 (DE-588)4154793-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Elektrische Steuerung |0 (DE-588)4113412-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Hein, Herbert |e Verfasser |4 aut | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691079&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006691079 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1808046795681431552 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
LISTE
DER
HAEUFIG
VERWENDETEN
SYMBOLE
1
EINLEITUNG
3
TEIL
I
PNEUMATISCH
GESTEUERTE
FLUIDISCHE
STRAHLELEMENTE
IN
LIGA-TECHNIK
7
1
FUNKTIONSWEISE
FLUIDISCHER
STRAHLELEMENTE
7
1.1
STRAHLABLENKELEMENTE
UND
BISTABILE
WANDSTRAHLELEMENTE,
1.2
MINIATURISIERUNG
FLUIDISCHER
STRAHLELEMENTE
2
HERSTELLUNG
FLUIDISCHER
STRAHLELEMENTE
MIT
DER
LIGA-TECHNIK
11
2.1
DAS
LIGA-VERFAHREN,
2.2
KONSTRUKTION
DER
ELEMENTE,
2.3
HERGESTELLTE
FLUIDISCHE
STRAHLELEMENTE
3
ANSCHLUSSTECHNIK
ZUM
BETRIEB
MINIATURISIERTER
FLUIDISCHER
STRAHLELEMENTE
16
3.1
PRINZIP,
3.2
LECKRATE
UND
DRUCKABFALL
AN
DEN
ZUFUEHRUNGEN,
3.3
FILTERN
DER
GASE
4
STRAHLABLENKELEMENTE
(SAE)
20
4.1
EINFUEHRUNG,
4.2
EIGENSCHAFTEN
DER
VERSORGUNGSDUESE,
4.3
DRUCKVERSTAERKUNG,
4.4
EIGENSCHAFTEN
DER
STEUEREINGAENGE
5
BISTABILE
WANDSTRAHLELEMENTE
(WSE)
24
5.1
EIGENSCHAFTEN
EINES
BISTABILEN
WSE
24
5.1.1
EINFUEHRUNG,
5.1.2
KENNLINIE
DER
VERSORGUNGSDUESE,
5.1.3
STABILITAETSDRUCK,
5.1.4
SCHALT
VERHALTEN
UND
EIGENSCHAFTEN
DER
STEUEREINGAENGE,
5.1.5
EIGENSCHAFTEN
DER
AUSGAENGE
5.2
EINFLUSS
DER
ELEMENTHOEHE
UND
DER
LATERALEN
SKALIERUNG
31
5.3
EINFLUSS
DER
GASART
34
6
FINITE-ELEMENTE-SIMULATION
BISTABILER
WANDSTRAHLELEMENTE
ZUR
37
GEOMETRIEOPTIMIERUNG
6.1
EINFUEHRUNG
37
6.2
MINIATURISIERTES
BISTABILES
WANDSTRAHLELEMENT
39
6.2.1
MODELL
DES
BISTABILEN
WSE,
6.2.2
SIMULATION
DER
VERSORGUNGSDUESE
MIT
STEUER
UND
HAFTRAUM,
6.2.3
BISTABILES
WSE
MIT
GEOEFFNETEN
AUSGAENGEN,
6.2.4
BISTABILES
WSE
MIT
GESCHLOSSENEN
AUSGAENGEN
6.3
AENDERUNG
DER
VERSORGUNGSDUESENGEOMETRIE
48
6.3.1
SIMULATION,
6.3.2
EXPERIMENT
6.4
VEREINFACHEN
DER
STEUERRAUMGEOMETRIE
51
6.5
OPTIMIERUNG
DES
OEFFNUNGSWINKELS
DER
HAFTWAENDE
53
6.6
BISTABILE
WANDSTRAHLELEMENTE
OHNE
MITTLERE
AUSGLEICHSOEFFNUNG
54
6.6.1
SIMULATION,
6.6.2
EXPERIMENT
6.7
KOMBINATION
MEHRERER
AENDERUNGEN
56
TEIL
II
ELEKTRO-THERMOPNEUMATISCHE
SIGNALWANDLUNG
ZUR
STEUERUNG
FLUIDISCHER
57
STRAHLELEMENTE
7
KONZEPT
DER
SIGNALWANDLUNG
UND
HERSTELLUNG
DER
BAUTEILE
57
7.1
KONZEPT
DER
SIGNALWANDLUNG,
7.3
HERSTELLUNG
VON
TITAN-HEIZMAEANDEM
UEBER
SILIZIUM
AETZGRUBEN
IN
LIGA-MIKROSTRUKTUREN
8
ELEKTRISCHE,
MECHANISCHE
UND
THERMISCHE
EIGENSCHAFTEN
DER
HEIZMAEANDER
60
8.1
EINFUEHRUNG,
8.2
SPEZIFISCHER
ELEKTRISCHER
WIDERSTAND,
8.3
MECHANISCHE
UND
THERMISCHE
BELASTBARKEIT
9
ELEKTRO-THERMOPNEUMATISCHE
SIGNALWANDLUNG
63
9.1
EINFUEHRUNG
63
9.2
SIGNALWANDLUNG
IM
GESCHLOSSENEN
VOLUMEN
63
9.2.1
VERSUCHSAUFBAU,
9.2.2
SIGNALWANDLUNG
9.3
SIGNALWANDLUNG
IN
DEN
STEUEREINGAENGEN
FLUIDISCHER
STRAHLELEMENTE
67
10
ELEKTRISCH
GESTEUERTE
FLUIDISCHE
STRAHLELEMENTE
69
10.1
EINFUEHRUNG
69
10.2
STRAHLABLENKELEMENTE
69
10.3
BISTABILE
WANDSTRAHLELEMENTE
71
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
74
11
ZUSAMMENFASSUNG
74
12
AUSBLICK
76
ANHANG
A
FLUIDGESCHWINDIGKEIT
NACH
DURCHLAUFEN
EINER
DUESE
79
ANHANG
B
KONSTRUKTIONSDATEN
DER
FLUIDISCHEN
STRAHLELEMENTE
81
ANHANG
C
PARAMETER
ZUR
FINITE-ELEMENTE-SIMULATION
BISTABILER
WANDSTRAHLELEMENTE
86
LITERATUR
87 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Vollmer, Josef Hein, Herbert |
| author_facet | Vollmer, Josef Hein, Herbert |
| author_role | aut aut |
| author_sort | Vollmer, Josef |
| author_variant | j v jv h h hh |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010081257 |
| classification_rvk | UN 5650 |
| classification_tum | MAS 990d |
| ctrlnum | (OCoLC)75583516 (DE-599)BVBBV010081257 |
| discipline | Physik Maschinenbau |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010081257</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20150119</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950227s1994 gw ad|| tm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">943476224</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75583516</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010081257</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UN 5650</subfield><subfield code="0">(DE-625)146143:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MAS 990d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">KfK 5375</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Vollmer, Josef</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung</subfield><subfield code="c">J. Vollmer ; H. Hein. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">KfK 5375</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Kernforschungszentrum</subfield><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">89 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zsfassung in engl. Sprache</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. J. Vollmer, 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Fluidtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154793-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektrische Steuerung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113412-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Fluidtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154793-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Elektrische Steuerung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113412-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hein, Herbert</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691079&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006691079</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010081257 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-22T00:49:51Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006691079 |
| oclc_num | 75583516 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-83 DE-11 |
| physical | 89 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| publisher | Kernforschungszentrum |
| record_format | marc |
| spelling | Vollmer, Josef Verfasser aut Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung J. Vollmer ; H. Hein. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe KfK 5375 Als Ms. gedr. Karlsruhe Kernforschungszentrum 1994 89 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zsfassung in engl. Sprache Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. J. Vollmer, 1994 Fluidtechnik (DE-588)4154793-7 gnd rswk-swf Elektrische Steuerung (DE-588)4113412-6 gnd rswk-swf LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 s Fluidtechnik (DE-588)4154793-7 s Elektrische Steuerung (DE-588)4113412-6 s DE-604 Hein, Herbert Verfasser aut DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691079&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Vollmer, Josef Hein, Herbert Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung Fluidtechnik (DE-588)4154793-7 gnd Elektrische Steuerung (DE-588)4113412-6 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4154793-7 (DE-588)4113412-6 (DE-588)4274347-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung |
| title_alt | KfK 5375 |
| title_auth | Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung |
| title_exact_search | Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung |
| title_full | Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung J. Vollmer ; H. Hein. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe |
| title_fullStr | Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung J. Vollmer ; H. Hein. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe |
| title_full_unstemmed | Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung J. Vollmer ; H. Hein. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe |
| title_short | Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung |
| title_sort | miniaturisierte fluidische strahlelemente in liga technik mit integrierter elektrischer steuerung |
| topic | Fluidtechnik (DE-588)4154793-7 gnd Elektrische Steuerung (DE-588)4113412-6 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| topic_facet | Fluidtechnik Elektrische Steuerung LIGA-Verfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691079&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT vollmerjosef miniaturisiertefluidischestrahlelementeinligatechnikmitintegrierterelektrischersteuerung AT heinherbert miniaturisiertefluidischestrahlelementeinligatechnikmitintegrierterelektrischersteuerung AT vollmerjosef kfk5375 AT heinherbert kfk5375 |