Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist: Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Verl. der Augustinus-Buchh.
1993
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie
10 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | II, 111 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3860732080 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010079157 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20130213 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950307s1993 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 020 | |a 3860732080 |9 3-86073-208-0 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75469371 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010079157 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-11 | ||
| 084 | |a UP 3100 |0 (DE-625)146372: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 286d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Langheinrich, Wolfram |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist |b Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen |c von Wolfram Langheinrich |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Verl. der Augustinus-Buchh. |c 1993 | |
| 300 | |a II, 111 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie |v 10 | |
| 502 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1993 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Lithiumfluorid |0 (DE-588)4167910-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektronenstrahllithografie |0 (DE-588)4151897-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Photoresist |0 (DE-588)4174545-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aluminiumfluorid |0 (DE-588)4357704-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Elektronenstrahllithografie |0 (DE-588)4151897-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Photoresist |0 (DE-588)4174545-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Lithiumfluorid |0 (DE-588)4167910-6 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Aluminiumfluorid |0 (DE-588)4357704-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie |v 10 |w (DE-604)BV005721719 |9 10 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006689981 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804124467883933696 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Langheinrich, Wolfram |
| author_facet | Langheinrich, Wolfram |
| author_role | aut |
| author_sort | Langheinrich, Wolfram |
| author_variant | w l wl |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010079157 |
| classification_rvk | UP 3100 |
| classification_tum | ELT 286d |
| ctrlnum | (OCoLC)75469371 (DE-599)BVBBV010079157 |
| discipline | Physik Elektrotechnik |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01746nam a2200445 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010079157</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20130213 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950307s1993 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3860732080</subfield><subfield code="9">3-86073-208-0</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75469371</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010079157</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3100</subfield><subfield code="0">(DE-625)146372:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 286d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Langheinrich, Wolfram</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist</subfield><subfield code="b">Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen</subfield><subfield code="c">von Wolfram Langheinrich</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Verl. der Augustinus-Buchh.</subfield><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 111 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie</subfield><subfield code="v">10</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1993</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lithiumfluorid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4167910-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektronenstrahllithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151897-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Photoresist</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174545-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aluminiumfluorid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4357704-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Elektronenstrahllithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151897-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Photoresist</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174545-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Lithiumfluorid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4167910-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Aluminiumfluorid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4357704-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie</subfield><subfield code="v">10</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV005721719</subfield><subfield code="9">10</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006689981</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010079157 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:46:08Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3860732080 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006689981 |
| oclc_num | 75469371 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-11 |
| physical | II, 111 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| publisher | Verl. der Augustinus-Buchh. |
| record_format | marc |
| series | Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie |
| series2 | Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie |
| spelling | Langheinrich, Wolfram Verfasser aut Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen von Wolfram Langheinrich 1. Aufl. Aachen Verl. der Augustinus-Buchh. 1993 II, 111 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie 10 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1993 Lithiumfluorid (DE-588)4167910-6 gnd rswk-swf Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 gnd rswk-swf Photoresist (DE-588)4174545-0 gnd rswk-swf Aluminiumfluorid (DE-588)4357704-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 s Photoresist (DE-588)4174545-0 s Lithiumfluorid (DE-588)4167910-6 s Aluminiumfluorid (DE-588)4357704-0 s DE-604 Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie 10 (DE-604)BV005721719 10 |
| spellingShingle | Langheinrich, Wolfram Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie Lithiumfluorid (DE-588)4167910-6 gnd Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 gnd Photoresist (DE-588)4174545-0 gnd Aluminiumfluorid (DE-588)4357704-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4167910-6 (DE-588)4151897-4 (DE-588)4174545-0 (DE-588)4357704-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen |
| title_auth | Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen |
| title_exact_search | Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen |
| title_full | Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen von Wolfram Langheinrich |
| title_fullStr | Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen von Wolfram Langheinrich |
| title_full_unstemmed | Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen von Wolfram Langheinrich |
| title_short | Mit AlF 3 dotiertes Lithiumfluorid als Elektronenstrahlresist |
| title_sort | mit alf 3 dotiertes lithiumfluorid als elektronenstrahlresist nanometerstrukturierung und belichtungsmechanismen |
| title_sub | Nanometerstrukturierung und Belichtungsmechanismen |
| topic | Lithiumfluorid (DE-588)4167910-6 gnd Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 gnd Photoresist (DE-588)4174545-0 gnd Aluminiumfluorid (DE-588)4357704-0 gnd |
| topic_facet | Lithiumfluorid Elektronenstrahllithografie Photoresist Aluminiumfluorid Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV005721719 |
| work_keys_str_mv | AT langheinrichwolfram mitalf3dotierteslithiumfluoridalselektronenstrahlresistnanometerstrukturierungundbelichtungsmechanismen |