Metallorganische Gasphasenabscheidung mit neuen Precursoren:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
1
1.1
DUENNSCHICHTTECHNOLOGIE
1
1.2
ZIELSETZUNG
2
2
GRUNDLAGEN
4
2.1
THERMISCHES
CVD
4
2.2
PLASMA-CVD
6
2.3
APPARATIVE
GRUNDLAGEN
11
2.3.1
CVD-REAKTOR
11
2.3.2
BIAS
ALS
FUNKTION
VON
DRUCK
UND
LEISTUNG
18
2.4
SCHICHTANALYTIK
21
2.4.1
AUGER-ELEKTRONEN
SPEKTROSKOPIE
21
2.4.2
RASTER-ELEKTRONEN-MIKROSKOPIE
MIT
ENERGIEDISPERSIVER
ROENTGENANALYSE
22
2.4.3
SEKUNDAERIONEN-MASSENSPEKTROMETRIE
23
2.4.4
GLOW
DISCHARGE
OPTICAL
SPEKTROSCOPY
24
2.4.5
SPEZIFISCHER
WIDERSTAND
25
2.4.6
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
26
2.4.7
SCHICHTDICKENBESTIMMUNG
26
3
GERMANIUM
28
3.1
ANWENDUNGEN
28
3.2
KLASSISCHE
HERSTELLUNG
28
3.3
MOCVD
29
3.4
SCHICHTANALYSE
35
3.5
ZUSAMMENFASSUNG
38
4
NICKEL-INDIUM
39
4.1
ANWENDUNGEN
39
4.2
KLASSISCHE
HERSTELLUNG
39
4.3
ABSCHEIDUNGEN
4.3.1
THERMISCHE
ABSCHEIDUNGEN
IM
WASSERSTOFFSTROM
4.3.2
THERMISCHE
ABSCHEIDUNGEN
IM
STICKSTOFFSTROM
4.3.3
PLASMA-CVD
4.4
ZUSAMMENFASSUNG
5
LITHIUMNIOBAT
5.1
ANWENDUNGEN
UND
EIGENSCHAFTEN
5.2
KLASSISCHE
HERSTELLUNG
5.3
MOCVD
5.3.1
SYNTHESE
DES
LINBOG-PRECURSORS
5.3.2
MOCVD
THERMISCH/PLASMA
5.4
SCHICHTANALYTIK
5.5
VERBESSERUNGEN
5.6
ZUSAMMENFASSUNG
6
HARTSTOFFE
6.1
DEFINITION
6.2
ANWENDUNGEN
6.3
TITANNITRID,
-CARBID
UND
-CARBONLTRID
6.3.1
KLASSISCHE
HERSTELLUNG
6.3.2
MOCVD
6.4
TLTANDIBORID
6.4.1
KLASSISCHE
HERSTELLUNG
6.4.2
ABSCHEIDUNGEN
AUS
TI(BH4)G
YY
DME
UND
TI(BH4)3
YY
2
THF
6.4.3
ABSCHEIDUNGEN
AUS
TITANBORANAT
MIT
DIAZADIEN-CO-LLGAND
6.4.4
ZUSAMMENFASSUNG
M
M
3
A
$
&
M
S
71
85
7
RE-OXLDE
87
7.1
ANWENDUNGEN
87
7.2
HERSTELLUNG
DUENNER
SCHICHTEN
87
7.3
MOCVD
87
7.3.1
ABSCHEIDUNGEN
MIT
(CYCLOPENTADIENYL)TRLOXORHENIUM
(12)
89
7.3.2
ABSCHEIDUNGEN
MIT
(PENTAMETHYLCYCLOPENTADLENYL)
TRIOXORHENIUM
(11)
90
7.3.3
ABSCHEIDUNGEN
MIT
MTO
(10)
OHNE
TRAEGERGAS
93
7.3.4
ABSCHEIDUNGEN
MIT
MTO
(10)
IM
SAUERSTOFF-PLASMA
93
7.3.5
ABSCHEIDUNGEN
MIT
MTO
(10)
IM
ARGON-PLASMA
94
7.3.6
ABSCHEIDUNGEN
MIT
MTO
(10)
IM
WASSERSTOFF-/ARGON-PLASMA
95
7.3.7
ABSCHEIDUNGEN
MIT
MTO
(10)
IM
REINEN
WASSERSTOFF-PLASMA
95
7.4
ZUSAMMENFASSUNG
99
8
THERMOGRAVIMETRIE
100
8.1
ALLGEMEINES
100
8.1.1
METHODE
100
8.1.2
ZIELE
100
8.2
THERMOCHEMISCHE
CHARAKTERISIERUNG
VON
CVD-PRECURSOREN
100
8.2.1
BESTIMMUNG
VON
VERDAMPFUNGSRATEN
102
8.2.2
ZUSAMMENFASSUNG
106
8.3
THERMOCHEMISCHE
CHARAKTERISIERUNG
ANDERER
METALLORGANISCHER
VERBINDUNGEN
107
8.3.1
CHLOROTRLOXORHENLUM
107
8.3.2
HETEROLYSE
VON
REAOY
110
8.3.3
CYCLOADDITIONEN
AN
MTO
113
9
EXPERIMENTELLES
116
9.1
VERWENDETE
GERAETE
116
9.2
ABSCHEIDUNGEN
117
9.2.1
GERMANIUM
117
9.2.2
NICKEL-INDIUM
119
9.2.3
LITHIUMNIOBAT
122
9.2.4
HARTSTOFFE 123
9.2.5
RHENIUM
129
9.3
THERMOGRAVIMETRIE
133
10
ZUSAMMENFASSUNG
134
11
LITERATURVERZEICHNIS
139
12
ANHANG
145
12.1
VEROEFFENTLICHTE
TEILE
DER
VORLIEGENDEN
DISSERTATION
145
12.2
LEBENSLAUF
146 |
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