Messverfahren zur makro- und mikroskopischen Oberflächentopographiebestimmung:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Inst. für Technische Optik
1994
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| Schriftenreihe: | Institut für Technische Optik <Stuttgart>: Berichte aus dem Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart
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INHALT
ABKUEZUNGEN
UND
FORMELZEICHEN
4
1)
EINLEITUNG
6
2)
MAKROSKOPISCHE
VERMESSUNG
BASIEREND
8
AUF
DEM
STEREOPRINZIP
2.1)
PRINZIP
9
2.2)
ANORDNUNG
DER
BILDAUFNAHME
12
3)
SEGMENTATION
16
3.1
KANTEN
18
3.1.1
EXTRAKTION
23
3.1.2
GRUPPIERUNG
MIT
RADON-TRANSFORMATION
30
3.1.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
KANTENPUNKTE
40
3.1.4
BESTIMMUNG
DER
KANTENPARAMETER
43
3.1.5
KANTEN
IM
BILDKOORDINATENSYSTEM
51
3.1.6
OPTIMIERUNG
DER
KANTENPARAMETER
52
3.1.7
RESTAURIERUNG
DER
KANTEN
56
3.2
ECKEN
59
3.3
OBERFLAECHEN
62
4)
ZUORDUNG
DER
KORRESPONDIERENDEN
BILDDETAILS
65
5)
RAEUMLICHE
POSITIONSBESTIMMUNG
73
5.1
VOLLSICHTBARE
OBERFLAECHEN
73
5.2
TEILSICHTBARE
OBERFLAECHEN
83
6)
EINFLUSS
DER
ABBILDUNGSFEHLER
87
7)
MIKROSKOPISCHE
OBERFLAECHENVERMESSUNG
MIT
DEM
89
KONFOKALEN
PRINZIP
7.1)
DAS
KONFOKALE
MESSPRINZIP
90
7.2)
HOEHENBESTIMMUNG
93
8)
BESTIMMUNG
DER
TOPOGRAPHISCHEN
OBERFLAECHEN-
96
STRUKTUR
MIT
DER
CHROMATISCHEN
LAENGSABERRATION
9)
MESSBEREICH
UND
DIE
GENAUIGKEIT
DER
111
HOEHENBESTIMMUNG
10)
ZUSAMMENFASSUNG
120
LITERATUR
127 |
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