Winkelaufgelöste Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie mit Synchrotronstrahlung:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Bonn
Univ., Physikalisches Inst.
1994
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| Schriftenreihe: | Physikalisches Institut <Bonn>: [Universität Bonn, Physikalisches Institut / IR]
1994,17 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Bonn, Univ., Diss., 1994 |
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INHALTSVERZEICHNIS
I.
EINLEITUNG
X
3
II.
WINKELAUFGELOESTE
ROENTGENFLUORESZENZ-SPEKTROMETRIE
7
II.1
ROENTGENFLUORESZENZ
7
II.2
WINKELAUFGELOESTE
ROENTGENFLUORESZENZ-SPEKTROMETRIE
C
AR/SR/XFS
)
9
II.3
FLUORESZENZINTENSITAET
EINER
INFINITESIMAL
DUENNEN
SCHICHT
10
114
ANWENDUNG
DER
AR/SR/XFS
AUF
VERSCHIEDENE
TIEFENPROFILE
14
II.4.1
GAUSSFOERMIGE
TIEFENPROFILE
15
II.4.2
RECHTECKFOERMIGE
TIEFENPROFILE
15
II.4.3
DIFFUSIONS-TIEFENPROFILE
16
II.4.4
"UNENDLICH
"
DICKE
SCHICHTEN
16
H.5
GEOMETRISCHER
KORREKTURFAKTOR
17
II.6
BEGRENZUNG
DER
TIEFENINFORMATION
17
II.7
UNTERGRUNDSTRAHLUNG
19
III.
SYNCHROTRONSTRAHLUNGSQUELLE
ELSA
21
IV.
PROBLEME
BEI
DER
BENUTZUNG
"WEISSER
'
SYNCHROTRONSTRAHLUNG
26
IV.1
THERMISCHE
BELASTUNG
26
IV
.2
KOHLENSTOFF-KONTAMINATION
BESTRAHLTER
OBERFLAECHEN
30
IV
.3
EFFEKTIVE
MASSENABSORPTIONSKOEFFIZIENTEN
31
IV
.4
VERTIKALE
STRAHLDIVERGENZ
33
V.
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
36
V.1
WELLENLAENGENDISPERSIVER
FLUORESZENZSTRAHLUNGSNACHWEIS
36
V2
ENERGIEDISPERSIVER
FLUORESZENZSTRAHLUNGSNACHWEIS
39
V.3
INTENSITAETSMONITORE
43
V.4
PROBENGEOMETRIE
48
VI.
MESS
UND
AUSWERTEVERFAHREN
50
VIJ
PRINZIP
DES
INTENSITAETSMONITORFREIEN
MESSVERFAHRENS
50
VL2
ANWENDUNG
AUF
DEN
WELLENLAENGENDISPERSIVEN
FLUORESZENZNACHWEIS
51
VI.3
ANWENDUNG
AUF
DEN
ENERGIEDISPERSIVEN
FLUORESZENZNACHWEIS
55
VI.4
NUMERISCHES
BERECHNUNGSVERFAHREN
57
VI.5
FEHLERBETRACHTUNGEN
59
VII.
WINKELAUFGELOESTE
MESSUNGEN
61
VILL
TESTMESSUNGEN
AN
SILIZIUM
'
BULK
'
-PROBEN
61
VII.1.1
MONOCHROMAT.
ANREGUNG
&
ENERGIEDISPERSIVER
NACHWEIS
61
VILL
.2
POLYCHROMAT.
ANREGUNG
&
WELLENLAENGENDISPERSIVER
NACHWEIS
64
VII.2
MESSUNGEN
AN
IONENIMPLANTIERTEN
HALBLEITERN
67
VII.2.1
PHOSPHOR
IN
SILIZIUM,
ENERGIE-KALIBRIERTE
IMPLANTATION
61
VII.2.2
PHOSPHOR
IN
SILIZIUM,
GERINGE
IMPLANTATIONSDOSIS
74
V11.3
DUENNE
SCHICHTEN
78
VII.3J
GOLD
AUF
SILIZIUM
78
VII.32
CHROM
AUF
QUARZGLAS
86
VII.3.3
TITANDIOXID
AUF
ALKALIFREIEM
GLAS
92
VII.4
DIFFUSIONS-TIEFENPROFILE:
LOD
IN
POLYMETHYLMETHACRYLAT
97
VIII.
ZUSAMMENFASSUNG
105
ANHAENGE
A
TEMPERATURMESSUNGEN
UND
-BERECHNUNGEN
AN
BESTRAHLTEN
WAFERN
108
B
ABWEICHUNGEN
TABELLIERTER
MASSENABSORPTIONSKOEFFIZIENTEN
118
C
MESSUNGEN
AN
IONENIMPLANTIERTEM
ARSEN
IN
SILIZIUM
119
D
TOTZEITKORREKTUR
122
LITERATURVERZEICHNIS
123
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
131
TABELLENVERZEICHNIS
135
DANKE
I
136 |
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