Elektrochemische Prozesse an Mikroelektroden:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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1993
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INHALT
1
EINLEITUNG
3
1.1
ALLGEMEINES,
MOTIVATION
UND
ZIEL
3
1.2
UEBERSICHT
UEBER
MIKROELEKTROCHEMISCHE
VERFAHREN
5
2
MESSTECHNIK
IN
DER
MIKROELEKTROCHEMIE
11
2.1
ELEKTRISCHE
MESSTECHNIK
11
2.1.1
GLEICHSTROMMESSTECHNIK
11
2.1.2
IMPEDANZ
BZW.
KAPAZITAETSMESSUNG
15
2.1.3
PHOTOSTROMMESSUNG
16
2.1.4
ZUSAMMENSTELLUNG
DER
ELEKTRISCHEN
GERAETE
UND
DEREN
KENNDATEN
18
2.2
OPTISCHE
MESSTECHNIK
18
2.2.1
FOKUSSIERUNG
VON
LASERSTRAHLUNG
18
2.2.2
IN-SITU-MIKROSKOPIE
23
2.2.3
ZUSAMMENSTELLUNG
DER
OPTISCHEN
KOMPONENTEN
MIT
IHREN
KENNDATEN
25
3
GRUNDLAGEN
27
3.1
ALLGEMEINE
EIGENSCHAFTEN
VON
MIKROELEKTRODEN
27
3.1.1
STOFFTRANSPORT,
STROM,
WIDERSTAND
27
3.1.2
KAPAZITAET
31
3.2
FOTOLACKMIKROELEKTRODEN
33
3.2.1
BISHERIGE
ANWENDUNGEN
DER
^-MIKROELEKTRODEN
33
3.2.2
STROMMESSUNGEN
UND
DER
ELEKTROLYTWIDERSTAND
AN
HP-MIKROELEKTRODEN
35
3.2.3
KAPAZITIVES
VERHALTEN
36
3.3
TITANDIOXIDSCHICHTEN:
STRUKTUR,
EPITAXIE
UND
PHYSIK.-CHEM.
EIGENSCHAFTEN
42
3.3.1
POLYKRISTALLINE
SCHICHTEN
42
3.3.2
STRUKTUR
UND
EPITAXIE
IM
TI/TIO
2
-SYSTEM
46
3.4
LOKALE
PHOTOELEKTROCHEMIE
50
3.4.1
ORTSABHAENGIGKEIT
DES
PHOTOSLROMS
51
3.4.2
POTENTIALABHAENGIGKEIT
DES
PHOTOSLROMS
57
3.4.3
MODELLE
ZUM
LASERINDUZIERTEN
OXIDWACHSTUM
58
4
EXPERIMENTELLES
62
4.1
PRAEPARATION
VON
MIKROELEKTRODEN
62
4.1.1
DRAHTQUERSCHNITT-TECHNIK
62
4.1.2
PHOTOLITHOGRAPHIE-TECHNIK
62
4.2
VERWENDETE
MATERIALIEN
UND
LOESUNGEN
64
4.2.1
METALLE
64
4.2.2
LOESUNGEN
65
4.2.3
SCHICHTBILDUNG
66
4.3
ENTSORGUNG
66
4.4
SICHERHEIT
66
5
P
H
-TI/TIO
2
-ELEKTROCHEMIE
69
6
ORTSAUFGELOESTE
PHOTOELEKTROCHETNIE
82
6.1
ORTSABHAENGIGKEIT
83
6.2
POTENTIALABHAENGIGKEIT
85
6.3
LASERINDUZIERTES
OXIDWACHSTUM
91
6.3.1
1(T)
UND
PARALLEL
GEMESSENE
C(T)-TRANSIENTEN
91
6.3.2
ERFASSUNG
DER
BESTRAHLUNGSEFFEKTE
DURCH
DIE
C(U)-MESSUNG
94
7
GASBLASENBILDUNG
UND
GASBLASENEFFEKTE
100
7.1
GASBLASEN
AN
MIKROELEKTRODEN
-
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
100
7.2
OPTIK
VON
GASBLASEN
102
7.3
GASBLASENEFFEKTE
BEI
LOKALER
LASERBESTRAHLUNG
-
NUR
STOEREFFEKTE
108
8
ZUSAMMENFASSUNG
113
9
ANHANG
1:
HERLEITUNG
VON
I^FX)
DER
KANTENANTWORT
117
10
NOMENKLATUR
118
11
GLEICHUNGSVERZEICHNIS
123
12
LITERATURVERZEICHNIS
130 |
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