Spektroellipsometrische Untersuchungen des Benetzungsverhaltens fluider Bi-Ga- und Ga-Ge-Legierungen:
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1994
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
GRUNDLAGEN:
ELLIPSOMETRIE
9
2.1
DER
POLARISATIONSZUSTAND
.
9
2.2
MESSMETHODE
.
11
2.2.1
BERECHNUNG
DER
PFIXSAROTAFA-ANORDNUNG
.
12
2.3
ZUSAMMENHANG
VON
$
UND
YY
MIT
DEN
OPTISCHEN
KONSTANTEN
.
16
2.3.1
ZWEI-PHASEN-MODELL
.
16
2.3.2
DREI-PHASEN-MODELL
.
18
2.4
KLASSISCHE
BESCHREIBUNG
OPTISCHER
FUNKTIONEN
.
20
3
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
23
3.1
ANFORDERUNGEN
AN
DIE
MESSAPPARATUR
.
23
3.1.1
ANFORDERUNGEN
DURCH
DIE
LEGIERUNGSSYSTEME
.
23
3.1.2
ANFORDERUNGEN
DURCH
DIE
ELLIPSOMETRIE
.
24
3.2
AUFBAU
DES
ELLIPSOMETERS
.
24
3.3
AUFBAU
DER
HOCHTEMPERATUR-PROBENKAMMER
.
28
II
INHALTSVERZEICHNIS
3.3.1
QUARZAPPARATUR
.
28
3.3.2
UHV
-
APPARATUR
.
30
3.4
VORBEREITUNG
UND
DURCHFUEHRUNG
DER
MESSUNG
.
39
3.4.1
FUELLUNG
DES
TIEGELS
.
39
3.4.2
DURCHFUEHRUNG
DER
MESSUNG
.
39
4
ERGEBNISSE
UND
AUSWERTUNG
41
4.1
PHASENDIAGRAMM
UND
KONZENTRATIONSSKALA
.
41
4.1.1
PHASENDIAGRAMM
BISMUT-GALLIUM
.
41
4.1.2
PHASENDIAGRAMM
GERMANIUM
-
GALLIUM
.
44
4.2
BISMUT
-
GALLIUM
MESSUNGEN
.
46
4.2.1
REINES
GALLIUM
.
46
4.2.2
REINES
BISMUT
.
49
4.2.3
DIE
MESSUNG
MIT
XBI
=
0,042
.
50
4.2.4
DIE
MESSUNG
MIT
XGI
=
0,072
.
53
4.2.5
DIE
MESSUNG
MIT
X&
=
0,272
.
55
4.3
DIE
GALLIUM
GERMANIUM
MESSUNG
.
58
4.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
FEHLERBEITRAEGE
.
60
5
DISKUSSION
63
5.1
DAS
SYSTEM
BISMUT
-
GALLIUM
.
64
5.1.1
IDEALE
MISCHUNG
.
67
5.1.2
REGULAERE
MISCHUNG
.
69
INHALTSVERZEICHNIS
III
5.1.3
BENETZUNGSPHASENUEBERGAENGE
.
73
5.1.4
INTERPRETATION
DER
MESSDATEN
MIT
HILFE
DES
DREI-PHASEN-MODELLS
.
.
78
5.1.5
ZUSAMMENHANG
MIT
ANDEREN
UNTERSUCHUNGEN
.
82
5.2
DAS
SYSTEM
GALLIUM
-
GERMANIUM
.
84
ANHANG
87
A
DIE
MESSDATEN
'
J
UND
YY
DER
EINZELNEN
MESSUNGEN
87
A.L
GALLIUM
.
88
A.2
BI0.042GAC.933
.
89
A.3
BIO.073GAO.928
.
94
A.4
BIO.273GAO.728
.
96
A.5
GEO.231GAO.769.
101
LITERATURVERZEICHNIS
105
HERSTELLERVERZEICHNIS
111 |
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