Olbrich, W. (1994). Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren: Mit 7 Tabellen. Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Olbrich, Walter. Entwicklung Und Optimierung Von Prozesskomponenten Zur Ionenunterstützten Abscheidung Bei PVD-Verfahren: Mit 7 Tabellen. Berlin u.a: Springer, 1994.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Olbrich, Walter. Entwicklung Und Optimierung Von Prozesskomponenten Zur Ionenunterstützten Abscheidung Bei PVD-Verfahren: Mit 7 Tabellen. Springer, 1994.
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