Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren: mit 7 Tabellen
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin u.a.
Springer
1994
|
| Schriftenreihe: | Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis
202 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 126 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3540585117 0387585117 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010029787 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19950524 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950130s1994 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 942707729 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3540585117 |9 3-540-58511-7 | ||
| 020 | |a 0387585117 |9 0-387-58511-7 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75501605 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010029787 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29T |a DE-83 |a DE-634 |a DE-188 | ||
| 084 | |a ZM 7680 |0 (DE-625)160562: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Olbrich, Walter |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren |b mit 7 Tabellen |c Walter Olbrich |
| 264 | 1 | |a Berlin u.a. |b Springer |c 1994 | |
| 300 | |a 126 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis |v 202 | |
| 502 | |a Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1993 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Prozessoptimierung |0 (DE-588)4176074-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenbestrahlung |0 (DE-588)4335201-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PVD-Verfahren |0 (DE-588)4115673-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a PVD-Verfahren |0 (DE-588)4115673-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Prozessoptimierung |0 (DE-588)4176074-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Ionenbestrahlung |0 (DE-588)4335201-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis |v 202 |w (DE-604)BV000852131 |9 202 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006650918&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006650918 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807774112909623296 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
0
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.
11
1
EINLEITUNG
.
15
2
ENTWICKLUNGSBEDARF
IN
DER
PVD-TECHNOLOGIE
.
17
3
AUFGABENSTELLUNG
.
19
4
PVD-VERFAHRENSTECHNOLOGIE
.
20
4.1
GRUNDLAGEN
.
21
4.1.1
VAKUUM
.
21
4.1.2
NIEDERTEMPERATURPLASMA
.
24
4.1.3
GASENTLADUNGEN
.
26
4.2
BESCHICHTUNGSTECHNOLOGIEN
.
31
4.2.1
LICHTBOGEN-VERDAMPFEN
.
31
4.2.2
SPUTTERN
.
34
4.2.3
PROZESSABLAUF
.
36
4.3
KONVENTIONELLE
METHODEN
DES
IONENUNTERSTUETZTEN
ABSCHEIDENS
.
39
4.3.1
DC-BIASSPANNUNG
.
40
4.3.2
LONENSTRAHLUNTERSTUETZTES
PVD-BESCHICHTEN
.
41
4.3.3
WIRKUNG
DES
TEILCHENBESCHUSSES
AUF
DIE
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
43
4.3.4
VERWENDUNG
GEPULSTER
PLASMEN
IN
DER
SCHICHTTECHNIK
.
53
4.4
MESSVERFAHREN
.
54
5
DIE
UEBERLAGERT
GEPULSTE
BIASSPANNUNG
.
60
5.1
AUFBAU
.
61
5.2
GRUNDLEGENDE
BETRACHTUNGEN
ZUR
UEBERLAGERT
GEPULSTEN
BIASSPANNUNG
.
63
-
10
6
WIRKUNGEN
DER UEBERLAGERT
GEPULSTEN
BIASSPANNUNG
AUF
DIE
PROZESSBEDINGUNGEN
.
70
6.1
BESCHICHTUNGSTEMPERATUR
.
71
6.2
LONENSTROMDICHTE
.
74
6.3
LONENENERGIE
.
78
7
ERGEBNISSE
DER
BESCHICHTUNGSVERSUCHE
.
85
7.1
ABSCHEIDERATE
.
85
7.2
BEVORZUGTE
KRISTALLORIENTIERUNG
.
87
7.3
MIKROSTRUKTUR
.
88
7.4
SCHICHTEIGENSPANNUNGEN
.
96
7.5
VERBUNDFESTIGKEIT,
HAFTFESTIGKEIT
.
98
7.6
MIKROHAERTE
.
102
7.7
RAUHEIT
.
104
7.8
KORROSIONSBESTAENDIGKEIT
.
106
8
ANWENDUNGSBEISPIELE
.108
9
BEWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
.112
10
ZUSAMMENFASSUNG
.
114
11
AUSBLICK
.117
12
LITERATURVERZEICHNIS
.118 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Olbrich, Walter |
| author_facet | Olbrich, Walter |
| author_role | aut |
| author_sort | Olbrich, Walter |
| author_variant | w o wo |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010029787 |
| classification_rvk | ZM 7680 |
| ctrlnum | (OCoLC)75501605 (DE-599)BVBBV010029787 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010029787</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19950524</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950130s1994 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">942707729</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3540585117</subfield><subfield code="9">3-540-58511-7</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">0387585117</subfield><subfield code="9">0-387-58511-7</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75501605</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010029787</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7680</subfield><subfield code="0">(DE-625)160562:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Olbrich, Walter</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren</subfield><subfield code="b">mit 7 Tabellen</subfield><subfield code="c">Walter Olbrich</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin u.a.</subfield><subfield code="b">Springer</subfield><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">126 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis</subfield><subfield code="v">202</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1993</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozessoptimierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176074-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenbestrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4335201-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4115673-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">PVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4115673-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Prozessoptimierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176074-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ionenbestrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4335201-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis</subfield><subfield code="v">202</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000852131</subfield><subfield code="9">202</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006650918&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006650918</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010029787 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-19T00:35:39Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3540585117 0387585117 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006650918 |
| oclc_num | 75501605 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-83 DE-634 DE-188 |
| owner_facet | DE-29T DE-83 DE-634 DE-188 |
| physical | 126 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| publisher | Springer |
| record_format | marc |
| series | Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis |
| series2 | Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis |
| spelling | Olbrich, Walter Verfasser aut Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren mit 7 Tabellen Walter Olbrich Berlin u.a. Springer 1994 126 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis 202 Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1993 Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd rswk-swf Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 gnd rswk-swf PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 s Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 s Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 s DE-604 Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis 202 (DE-604)BV000852131 202 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006650918&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Olbrich, Walter Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren mit 7 Tabellen Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 gnd PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4176074-8 (DE-588)4335201-7 (DE-588)4115673-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren mit 7 Tabellen |
| title_auth | Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren mit 7 Tabellen |
| title_exact_search | Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren mit 7 Tabellen |
| title_full | Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren mit 7 Tabellen Walter Olbrich |
| title_fullStr | Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren mit 7 Tabellen Walter Olbrich |
| title_full_unstemmed | Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren mit 7 Tabellen Walter Olbrich |
| title_short | Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren |
| title_sort | entwicklung und optimierung von prozesskomponenten zur ionenunterstutzten abscheidung bei pvd verfahren mit 7 tabellen |
| title_sub | mit 7 Tabellen |
| topic | Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 gnd PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 gnd |
| topic_facet | Prozessoptimierung Ionenbestrahlung PVD-Verfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006650918&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000852131 |
| work_keys_str_mv | AT olbrichwalter entwicklungundoptimierungvonprozesskomponentenzurionenunterstutztenabscheidungbeipvdverfahrenmit7tabellen |