Naßchemische Ätzprozesse zur Mikrostrukturierung des Siliziums für die Mikromechanik:
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1994
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
GRUNDLAGEN
DER
MIKROMECHANIK
7
2.1
SILIZIUM
ALS
GRUNDMATERIAL
FUER
DIE
MIKROMECHANIK
.
7
2.2
MIKROSTRUKTURIERUNG
MITTELS
ANISOTROPEN
NASSCHEMISCHEN
ATZENS
.
8
2.3
ELEKTROCHEMISCH
GESTEUERTES
ATZEN
VON
SI
IN
DER
KOH-LOESUNG
.
12
2.4
MIKROSTRUKTURIERUNG
MITTELS
PLASMAUNTER
STUETZTEN
TROCKENAETZENS
.
19
2.5
ANDERE
BENOETIGTE
TECHNOLOGIEN
.
21
3
GRUNDLAGEN
ZUM
AUFBAU
EINES
RASTER-KRAFTMIKROSKOPS
23
3.1
PRINZIPIEN
VON
STM
UND
SFM
.
23
3.2 AUSWAHL
DER
KONSTRUKTION
DES
SFM-SENSORS
.
24
3.3
PIEZORESISTIVER
EFFEKT
IM
SILIZIUM
.
27
4
HERSTELLUNG
DES
CANTILEVERS
FUER
DAS
SFM
31
4.1
VORBEREITUNG
.
31
4.2
MIKROSTRUKTURIERUNG
MIT
DER
KOH-LOESUNG
.
38
4.3
MIKROSTRUKTURIERUNG
MITTELS
TROCKENAETZENS
.
42
4.4
SFM-KRAFTSENOSR
.
46
5
HERSTELLUNG
PM-DUENNER
SI-MEMBRANEN
53
5.1
ERZEUGUNG
DER
PN-UBERGAENGE
IN
SILIZIUM
.
53
5.2
MEMBRANHERSTELLUNG
.
57
5.3
CHARAKTERISTIK
DER
SI-MEMBRAN
.
67
5.4
ANWENDUNGEN
DES
ELEKTROCHEMISCHEN
ATZSTOPPS
.
77
6
DISKUSSION
UND
AUSBLICK
83
7
ZUSAMMENFASSUNG
93
LITERATUR
95
DANKSAGUNG
100
LEBENSLAUF
101
LISTE
DER
VEROEFFENTLICHUNGEN
102
ERKLAERUNG
103 |
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