Kontrollierter Formabtrag durch Sublimation mittels Laserstrahlung:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1995
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Lasertechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1994 |
| Beschreibung: | 123 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
1
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
3
2.
VERFAHRENSBESCHREIBUNG
.
6
2.1.
KLASSIFIZIERUNG
DES
ABTRAGPROZESSES
NACH
DIN
.
6
2.2.
KONKURRIERENDE
VERFAHREN
.
8
2.2.1.
MECHANISCHE
VERFAHREN
.
8
2.2.2.
ERODIERVERFAHREN
.
8
2.3.
ABTRAGEN
MIT
LASERSTRAHLUNG
.
10
2.3.1.
ABTRAGEN
MIT
CO2-LASERN.
11
2.3.2.
ABTRAGEN
MIT
EXCIMER-LASERN
.
13
2.3.3.
ABTRAGEN
MIT
ND:YAG-LASERN.
15
3.
PROZESSBESCHREIBUNG
ZUM
SUBLIMATIONSABTRAG
.
19
3.1.
AUSARBEITUNG
FLAECHIGER
GESENKE
.
20
3.2.
WECHSELWIRKUNG
LASERSTRAHL
-
MATERIE
.
24
3.3.
LASERSTRAHLPARAMETER
.
31
4.
VERFAHRENSGRUNDLAGEN
ZUM
SUBLIMATIONSABTRAG
.
37
4.1.
KENNLINIENFELDER
FUER
METALLISCHE
WERKSTOFFE
.
37
4.1.1.
LASERPARAMETER
.
38
4.1.2.
PROZESSPARAMETER
.
50
4.2.
EINFLUSS
DER
VORSCHUBGESCHWINDIGKEIT
AUF
DAS
ABDAMPF
UND
REKONDENSATIONSVERHALTEN
.
63
4.3.
BESTIMMUNG
EINES
PROZESSWIRKUNGSGRADES
.
67
4.3.1.
VERLUSTMECHANISMEN
BEIM
ABTRAGEN
MIT
CW-Q-SWITCH
ND:YAG-LASEM
.
68
4.4.
KENNLINIENFELDER
FUER
NICHTMETALLISCHE
WERKSTOFFE
.
73
5.
PROZESSUEBERWACHUNG
UND
-REGELUNG
.
82
5.1.
PROZESSRELEVANTE
SIGNALE
.
82
5.2.
CHARAKTERISIERUNG
DER
PROZESSSIGNALE
.
87
5.2.1.
AUSWERTEVERFAHREN
.
87
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
2
5.2.2.
KORRELATION
DER
PROZESSSIGNALE
ZUM
BEARBEITUNGSERGEBNIS
.
88
5.3.
REGELUNGSKONZEPT
.
90
5.3.1.
STELL
UND
STOERGROESSEN
.
91
5.3.2.
REGELZIEL
.
93
6.
ZUSAMMENFASSUNG
.
98
A.L
BESCHREIBUNG
DER
LASERSYSTEME
.
101
A.2
EINFLUSS
VERSCHIEDENER
HANDHABUNGSSYSTEME
.
107
A.3
HERLEITUNG
DER
VERWENDETEN
GLEICHUNGEN
.
112
A.3.1
BESTIMMUNG
DES
NICHT-GLEICHGEWICHTSPHASENUEBER
GANGES
BEIM
LASERINDUZIERTEN
VERDAMPFEN
.
112
A.3.2.
BESTIMMUNGSGITTER
BEI
DER
BERECHNUNG
DER
TOPOGRAPHIE
.
113
.Z.
4
MATERIALKONSTANTEN
.
115
A.4.1
BESTIMMUNG
DER
OPTISCHEN
EINDRINGTIEFE
UND
DES
ABSORPTIONSWERTES BEI
AE.
=
1,06
PM
FUER
A1
2
O
3
.
115
A.4.2
LITERATURWERTE
.
116
B
LITERATURLISTE
.
118 |
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