Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
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| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum Inst. für Mikrostrukturtechnik
1994
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| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
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