Untersuchung des Diamantwachstums mit Hilfe von Molekularstrahlen:
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| Sprache: | German English |
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Jülich
Forschungszentrum
1994
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2943 |
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INHALTSVERZEICHNIS
I
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
DAS
KONZEPT
DER
ARBEIT
.
3
2.1
HISTORISCHES
UND
WISSENSCHAFTLICHE
RECHTFERTIGUNG
DES
MOLEKULARSTRAHLEXPERIMENTS
4
2.2
DIE
VORARBEITEN
FUER
DAS
MOLEKULARSTRAHLEXPERIMENT
.
6
3.
THEORETISCHE
MODELLE
ZUM
DIAMANTWACHSTUM
UND
VORAUSSAGEN
FUER
EIN
MOLEKULARSTRAHLEXPERIMENT
.
9
3.1
UEBERSICHT
UEBER
THEORETISCHE
MODELLE
ZUM
DIAMANTWACHSTUM
.
10
3.2
DAS
MODELL
VON
FRENKLACH
UND
WANG
.
.
12
3.3
VORAUSSAGEN
ANDERER
MODELLE
.
.
23
4.
EINE
QUELLE
FUER
ATOMAREN
WASSERSTOFF
.
.
27
4.1
DIE
THERMISCHE
WASSERSTOFF-DISSOZIATION
.
.
28
4.2
AUFBAU
DER
QUELLE
FUER
ATOMAREN
WASSERSTOFF
.
.
29
4.3
NACHWEIS
DER
WASSERSTOFFDISSOZIATION
MIT
DEM
MASSENSPEKTROMETER
.
33
4.4
MONTE-CARLO-SIMULATION
DER
STRAHLFORMUNG
.
.
45
4.5
BETRIEBSVERHALTEN
DER
QUELLE
.
.
55
4.A
ALGORITHMUS
ZUR
SIMULATION
DER
STROEMUNG
DURCH
EIN
ROEHRCHEN
.
.
56
5.
DER
NACHWEIS
VON
KOHLENSTOFF
MIT
AUGER-ELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE
.
59
5.1
DIE
AES-APPARATUR
.
.
60
5.2
DER
NACHWEIS
VERSCHIEDENER
KOHLENSTOFFMODIFIKATIONEN
MIT
AES
.
63
5.3
DIE
ANALYSE
EINES
DIAMANT-GRAPHIT-AES-MISCHPEAKS
.
.
67
6.
ABSCHEIDUNG
VON
DIAMANT
NACH
DEM
HEISSDRAHTVERFAHREN
.
71
6.1
DAS
VERFAHREN
.
.
71
6.2
DIE
SCHICHTEN
.
.
73
7.
DIE
GESAMTAPPARATUR
.
.
83
II
INHALTSVERZEICHNIS
8.
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
DIAMANTWACHSTUM
MITTELS
MOLEKULARSTRAHLEN.
.
89
8.1
DAS
MOLEKULARSTRAHLEXPERIMENT
.
.
89
8.2
DIE
SUCHE
NACH
DEN
BEDINGUNGEN
DER
HOMOEPITAXIE
VON
DIAMANT
IM
MOLEKULARSTRAHLEXPERIMENT
.
.
92
8.3
EIN
FENSTER
FUER
DIE
DEPOSITION
VON
DIAMANT
.
.
97
8.4
DIE
BEAUFSCHLAGUNG
EINER
DIAMANTOBERFLAECHE
MIT
ATOMAREM
WASSERSTOFF
.
100
8.5
DIE
UNTERSUCHUNG
DER
ABSCHEIDUNG
VON
KOHLENSTOFF
IN
EINEM
ISOTOPENEXPERIMENT
MIT
13
C
.
.
104
8.6
DIE
SIMS-ANALYSE
.
.
108
9.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
.
115
A.0
LITERATURVERZEICHNIS
.
.
119
A.1
DANKSAGUNGEN
.
.
125 |
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