Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Duisburg, Univ., Diss., 1994 |
| Beschreibung: | 115 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009927094 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20160630 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 941122s1994 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 942349059 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)52755373 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009927094 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-11 | ||
| 084 | |a CIT 290d |2 stub | ||
| 084 | |a MTA 420d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Schmidt, Frank |d 1961- |e Verfasser |0 (DE-588)13220360X |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe |c von Frank Schmidt |
| 264 | 1 | |c 1994 | |
| 300 | |a 115 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Duisburg, Univ., Diss., 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Scheibe |0 (DE-588)4052190-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Umströmung |0 (DE-588)4121807-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Nanopartikel |0 (DE-588)4333369-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laminare Strömung |0 (DE-588)4034181-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aerosol |0 (DE-588)4000595-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Abscheidung |0 (DE-588)4141100-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Oberfläche |0 (DE-588)4042907-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Scheibe |0 (DE-588)4052190-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Umströmung |0 (DE-588)4121807-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Aerosol |0 (DE-588)4000595-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Laminare Strömung |0 (DE-588)4034181-1 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Nanopartikel |0 (DE-588)4333369-2 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Abscheidung |0 (DE-588)4141100-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Oberfläche |0 (DE-588)4042907-6 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Nanopartikel |0 (DE-588)4333369-2 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Abscheidung |0 (DE-588)4141100-6 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006575616&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006575616 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807774129942691840 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
3
2.
TRANSPORTMECHANISMEN
IM
MEHRPHASENSYSTEM
AEROSOL
7
2.1
FLUIDMECHANIK
.
8
2.2
AEROSOLDYNAMIK
.
.
9
2.2.1
DIFFUSION
.
10
2.2.2
KONVEKTION
.
13
2.2.3
TRAEGHEIT
.
14
2.2.4
EXTERNE
KRAEFTE
.
.
15
3.
DIMENSIONSLOSE
MODELLIERUNG
DER
TRANSPORTPROZESSE
19
3.1
DER
IMPULSSATZ
.
20
3.2
DER
ENERGIESATZ
.
22
3.3
DER
PARTIKELTRANSPORT
.
.
.
23
4.
NUMERISCHES
LOESUNGSVERFAHREN
UND
MODELLIERUNG
27
4.1
DER
SIMPLER
ALGORITHMUS
.
28
4.2
NUMERISCHE
MODELLIERUNG
DES
UMSTROEMTEN
KOERPERS
.
30
5.
DIE
THEORETISCHEN
ERGEBNISSE
-
GASPHASE
32
5.1
DAS
GESCHWINDIGKEITSFELD
.
32
5.2
DAS
TEMPERATURFELD
.
39
6.
DIE
THEORETISCHEN
ERGEBNISSE
-
PARTIKELPHASE
44
6.1
BERECHNUNG
DER
PARTIKELANZAHLKONZENTRATION
.
44
6.1.1
DAS
PARTIKELANZAHLKONZENTRATIONSFELD
OHNE
BERUECKSICHTIGUNG
EXTERNER
KRAEFTE
.
44
6.1.2
DIE
WIRKUNG
EXTERNER
KRAEFTE
AUF
DAS
PARTIKELANZAHLKONZENTRA
TIONSFELD
.
49
6.2
BERECHNUNG
DER
NORMIERTEN
DEPOSITIONSGESCHWINDIGKEITEN
.
54
6.3
BERECHNUNG
DER
DIMENSIONSBEHAFTETEN
DEPOSITIONSGESCHWINDIGKEIT
.
.
56
7.
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
58
7.1
ANWENDUNG
DES
DIMENSIONSLOSEN
MODELLS
AUF
DIE
PROBLEMSTELLUNG
DES
FREISTEHENDEN
WAFERS
.
58
7.2
NEUE
TECHNIKEN
ZUR
DETEKTION
SUBMIKRONER
PARTIKEL
AUF
OBERFLAECHEN
.
61
7.2.1
NACHWEIS
DER
DEPOSITION
DURCH
CHEMISCHE
REAKTIONEN
.
63
7.2.2
NACHWEIS
DER
DEPOSITION
DURCH
SPEZIELLE
LICHTMIKROSKOPIETECH
NIKEN
.
68
7.2.3
DER
WAFERSCANNER
.
71
7.3
EXPERIMENTELLE BESTIMMUNG
DER
DEPOSITIONSGESCHWINDIGKEITEN
.
74
7.3.1
DIE
SENKRECHT
ANGESTROEMTE
HORIZONTALE
OBERFLAECHE
.
74
7.3.2
ABSCHEIDUNG
SUBMIKRONER
PARTIKEL
BEI
REDUZIERTEN
DRUECKEN
.
.
77
8.
DIE
NAEHERUNGSLOESUNG
FUER
DEN
PARTIKELTRANSPORT
83
8.1
KONVEKTIVER
PARTIKELTRANSPORT
.
82
8.2
BERUECKSICHTIGUNG
EXTERNER
KRAEFTE
.
85
8.3
DIMENSIONSBEHAFTETE
DARSTELLUNG
.
90
9.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
92
NOMENKLATUR
94
LITERATURVERZEICHNIS
98
A.
ANHANG
108
A.L
LINEARISIERUNG
DER
TRANSPORTKOEFFIZIENTEN
.
108
A.2
DER
RUNDE
FREISTRAHL
.
110
A.3
DIE
ROTATIONSSYMMETRISCHE
STAUPUNKTSTROEMUNG
.
113 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Schmidt, Frank 1961- |
| author_GND | (DE-588)13220360X |
| author_facet | Schmidt, Frank 1961- |
| author_role | aut |
| author_sort | Schmidt, Frank 1961- |
| author_variant | f s fs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009927094 |
| classification_tum | CIT 290d MTA 420d |
| ctrlnum | (OCoLC)52755373 (DE-599)BVBBV009927094 |
| discipline | Physik Chemie-Ingenieurwesen |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV009927094</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20160630</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">941122s1994 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">942349059</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)52755373</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009927094</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">CIT 290d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MTA 420d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schmidt, Frank</subfield><subfield code="d">1961-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)13220360X</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe</subfield><subfield code="c">von Frank Schmidt</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">115 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Duisburg, Univ., Diss., 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Scheibe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4052190-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Umströmung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121807-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Nanopartikel</subfield><subfield code="0">(DE-588)4333369-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laminare Strömung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4034181-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aerosol</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000595-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Abscheidung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4141100-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Oberfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042907-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Scheibe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4052190-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Umströmung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121807-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Aerosol</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000595-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Laminare Strömung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4034181-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Nanopartikel</subfield><subfield code="0">(DE-588)4333369-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Abscheidung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4141100-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Oberfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042907-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Nanopartikel</subfield><subfield code="0">(DE-588)4333369-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Abscheidung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4141100-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006575616&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006575616</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009927094 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-19T00:35:55Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006575616 |
| oclc_num | 52755373 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-11 |
| physical | 115 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| record_format | marc |
| spelling | Schmidt, Frank 1961- Verfasser (DE-588)13220360X aut Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe von Frank Schmidt 1994 115 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Duisburg, Univ., Diss., 1994 Scheibe (DE-588)4052190-4 gnd rswk-swf Umströmung (DE-588)4121807-3 gnd rswk-swf Nanopartikel (DE-588)4333369-2 gnd rswk-swf Laminare Strömung (DE-588)4034181-1 gnd rswk-swf Aerosol (DE-588)4000595-1 gnd rswk-swf Abscheidung (DE-588)4141100-6 gnd rswk-swf Oberfläche (DE-588)4042907-6 gnd rswk-swf Wafer (DE-588)4294605-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Scheibe (DE-588)4052190-4 s Umströmung (DE-588)4121807-3 s Aerosol (DE-588)4000595-1 s Laminare Strömung (DE-588)4034181-1 s Nanopartikel (DE-588)4333369-2 s Abscheidung (DE-588)4141100-6 s DE-604 Wafer (DE-588)4294605-0 s Oberfläche (DE-588)4042907-6 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006575616&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schmidt, Frank 1961- Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe Scheibe (DE-588)4052190-4 gnd Umströmung (DE-588)4121807-3 gnd Nanopartikel (DE-588)4333369-2 gnd Laminare Strömung (DE-588)4034181-1 gnd Aerosol (DE-588)4000595-1 gnd Abscheidung (DE-588)4141100-6 gnd Oberfläche (DE-588)4042907-6 gnd Wafer (DE-588)4294605-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4052190-4 (DE-588)4121807-3 (DE-588)4333369-2 (DE-588)4034181-1 (DE-588)4000595-1 (DE-588)4141100-6 (DE-588)4042907-6 (DE-588)4294605-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe |
| title_auth | Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe |
| title_exact_search | Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe |
| title_full | Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe von Frank Schmidt |
| title_fullStr | Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe von Frank Schmidt |
| title_full_unstemmed | Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe von Frank Schmidt |
| title_short | Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe |
| title_sort | transport submikroner partikel zu einer laminar umstromten kreisscheibe |
| topic | Scheibe (DE-588)4052190-4 gnd Umströmung (DE-588)4121807-3 gnd Nanopartikel (DE-588)4333369-2 gnd Laminare Strömung (DE-588)4034181-1 gnd Aerosol (DE-588)4000595-1 gnd Abscheidung (DE-588)4141100-6 gnd Oberfläche (DE-588)4042907-6 gnd Wafer (DE-588)4294605-0 gnd |
| topic_facet | Scheibe Umströmung Nanopartikel Laminare Strömung Aerosol Abscheidung Oberfläche Wafer Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006575616&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT schmidtfrank transportsubmikronerpartikelzueinerlaminarumstromtenkreisscheibe |