Die Messgenauigkeit begrenzende Fehler beim Elektronenstrahltest an mikroelektronischen Schaltungen:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
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INHALTSVERZEICHNIS
LISTE
VERWENDETER
ABKUERZUNGEN
UND
FORMELZEICHEN
V
1.
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
1
2.
GRUNDLAGEN
DES
ELEKTRONENSTRAHLTESTS
(EST)
6
2.1
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
6
2.1.1
WECHSELWIRKUNG VON ELEKTRONEN
MIT
DEM
FESTKOERPER
6
2.1.1.1
ENERGIEVERTEILUNG
DER
SEKUNDAERELEKTRONEN
10
2.1.1.2
WINKELVERTEILUNG
DER
SEKUNDAERELEKTRONEN
11
2.1.1.3
KANTENEFFEKTE
12
2.1.2
QUALITATIVER
POTENTIALKONTRAST
13
2.1.2.1
POTENTIALBARRIERENKONTRAST
14
2.1.2.2TRAJEKTORIENKONTRAST
17
2.1.3
QUANTITATIVE
SIGNALVERLAUFSMESSUNG
18
2.2
APPARATIVE
GRUNDLAGEN
23
2.2.1
AUFBAU
VON
ELEKTRONENSTRAHLTESTSYSTEMEN
23
2.2
2
ENERGIEANALYSE
DER
SEKUNDARELEKTRONEN
24
2.2.2.1
KONSTRUKTIONSMERKMALE
VON
SPEKTROMETERN
24
2.2.2.2
'IN-LENS'
-
SPEKTROMETER
MIT
HEMISPHAERISCHEN
NETZEN
26
2.3
MESSTECHNISCHE
GRUNDLAGEN
28
2.3.1
MESSUNG
VON
ELEKTRISCHEN
SIGNALEN
28
2.3.2
EINFLUSS
DES
SPEKTROMETERARBEITSPUNKTES
AUF
DIE
SIGNALMESSUNG
29
3.
EINFLUSSGROESSEN
AUF
DIE
GENAUIGKEIT
DER
SIGNALMESSUNG
BEIM
EST
31
3.1
EINFLUESSE
DES
TESTOBJEKTES
AUF
DEN
MESSFEHLER
31
3.1.1
PROBENEIGENSCHAFTEN
31
3.1.2
ABLENKUNG
DES
PRIMAERELEKTRONENSTRAHLS
DURCH
ELEKTROMAGNETISCHE FELDER
32
3.1.3
BEEINFLUSSUNG
DES
SE-SPEKTRUMS
34
3
1.3.1
ELEKTRISCHE
PROBENSIGNALE
34
3.1.3.2
LAUFZEITEN
DER
SEKUNDAERELEKTRONEN
35
II
3.2
TESTSYSTEMBEDINGTE
EINFLUESSE
AUF
DEN
MESSFEHLER
37
3
2
1
AUFBAU
DES
ELEKTRONENSTRAHLTESTSYSTEMS
37
3.2.2
ORTSAUFLOESUNG
37
3.2.3
TYP
DES
VERWENDETEN
SPEKTROMETERS
40
3.3
ANWENDERVERURSACHTE
MESSFEHLER
40
4.
DEFINITION
VON
MESSFEHLERN
AN
EINER
TESTSTRUKTUR
41
4.1
TESTSTRUKTUR
41
4.2
DEFINITION
DER
MESSFEHLER
44
4.2.1
FEHLER
BEI
MESSUNGEN
AN
LEITERBAHNEN
MIT
0V
SIGNALSPANNUNG
47
4.2.2
FEHLER
BEI
MESSUNGEN
AN
LEITERBAHNEN
MIT
5
V
SIGNALSPANNUNG
47
S.
THEORETISCHE
BESCHREIBUNG
DER
MESSFEHLER
MIT
HILFE
VON
SIMULATIONS
PROGRAMMEN
48
5.1
VERGLEICH
DER
VERSCHIEDENEN
SIMULATIONSANSAETZE
ZUR
BERECHNUNG
VON
ELEKTRO
MAGNETISCHEN
FELDERN
OBERHALB
VON
MIKROELEKTRONISCHEN
SCHALTUNGEN
48
5.1.1
ANALYTISCHE
MODELLE
49
5.1.2
ERSATZLADUNGSVERFAHREN
52
5.1.3
FINITE
DIFFERENZEN
METHODE
53
5.2
BERECHNUNG
VON
ELEKTRONENBAHNEN
57
5.3
MODELLBILDUNG
ZUR
NACHBILDUNG
DER
PHYSIKALISCHEN
EFFEKTE
58
5
3.1
MODELL
ZUR
BERECHNUNG
DES
ELEKTRISCHEN
FELDES
58
5.3.2
MODELL
ZUR
BERECHNUNG
DES
EINFLUSSES
ELEKTRISCHER
FELDER
AUF
DEN
PRIMAERELEKTRONENSTRAHI
63
5.3.3
NACHBILDUNG
DER
SEKUNDAERELEKTRONENEMISSION
65
5.4
BESCHREIBUNG
DER
EINFLUSSGROESSEN
DES
SPEKTROMETERS
68
6.
NEUDEFINITION
VON
MESSFEHLERN
AN
EINER
TESTSTRUKTUR
FIIR
DIE
SIMULATIONEN
71
6.1
FEHLER
BEI
SIMULATIONEN
AN
LEITERBAHNEN
MIT
0V
SIGNALSPANNUNG
72
6.2
FEHLER
BEI
SIMULATIONEN
AN
LEITERBAHNEN
MIT
5
V
SIGNALSPANNUNG
73
IN
7.
SIMULATIONSERGEBNISSE
74
7.1
VERLAUF
DER
SEKUNDAERELEKTRONENBAHNEN
75
7.2
BERECHNETE
SPEKTREN
81
7.2.1
ABHAENGIGKEIT
VON
DER
GEOMETRIE
83
7.2.2
ABHAENGIGKEIT
VON
DEN
ANGELEGTEN
ELEKTRISCHEN
SIGNALEN
86
7.3
SIMULIERTE
MESSFEHLER
88
7.3.1
FEHLER
BEI
LEITERBAHNEN
MIT
OV
SIGNALSPANNUNG
89
7.3.2
FEHLER
BEI
LEITERBAHNEN
MIT
5V
SIGNALSPANNUNG
90
7.4
VERSATZ
DES
PRIMAERELEKTRONENSTRAHLS
94
8.
EXPERIMENTELLE
ERFASSUNG
DER
MESSFEHLER
97
8.1
PARAMETER
FUER
DIE
MESSUNG
AN
DER
TESTSTRUKTUR
97
8.2
SIGNALVERLAUFSMESSUNGEN
99
8.2.1
FEHLER
AUFGRUND
DES
LOKALEN
FELDEFFEKTES
(LFE)
100
8.2.2
ADDITIV
ZUM
LFE
AUFTRETENDE
FEHLER
103
8.3
MESSFEHLER
106
8.3.1
FEHLER
BEI
LEITERBAHNEN
MIT
OV
SIGNALSPANNUNG
107
8
3.2
FEHLER
BEI
LEITERBAHNEN
MIT
5V
SIGNALSPANNUNG
107
8.4
EINFLUESSE
DURCH
DIE
BEEINFLUSSUNG
DES
PRIMAERELEKTRONENSTRAHLS
108
9.
DISKUSSION
DER
EXPERIMENTELLEN
UND
SIMULIERTEN
ERGEBNISSE
111
-
BEWERTUNG
HINSICHTLICH
DER
VERBESSERUNG
DER
MESSGENAUIGKEIT
10.
ZUSAMMENFASSUNG
120
11.
LITERATURNACHWEIS
125
IV
ANHANG
AL
ANALYTISCHE
BERECHNUNG
DER
MAGNETISCHEN
FELDVERTEILUNG
EINER
ELEKTRONENOPTISCHEN
LINSE
138
A2
BERECHNUNG
DER
FLUGBAHNEN
VON
SEKUNDAERELEKTRONEN
IN
ELEKTROMAGNETISCHEN
FELDERN
140
A3
A4
EINSTELLUNG
DES
SPEKTROMETERARBEITSPUNKTES
143
ALTE
DEFINITION
DES
UEBERSPRECHENS
('CROSSTALK'
-
FEHLER)
144 |
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