Untersuchung der Sperrfähigkeit von Halbleiter-Bauelementen mittels numerischer Simulation:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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1994
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INHALTSVERZEICHNIS
0.
EINLEITUNG
1
1.
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
4
1.1
THEORIE
DES
PN-UEBERGANGS
.
4
1.1.1
DER
PN-UEBERGANG
IM
GLEICHGEWICHT
.
5
1.1.2
DAS
DEPIETION-MODELL
.
7
1.1.3
DER
PN-UEBERGANG
IN
SPERRICHTUNG
.
12
1.2
DURCHBRUCHMECHANISMEN
IN
HALBLEITERN
.
14
1.2.1
DER
ZENERDURCHBRUCH
.
15
1.2.2
DER
LAWINENDURCHBRUCH
.
17
1.3
PLANARE
PN-UEBERGAENGE
.
26
1.4
DAS
HALBLEITER-SIMULATIONSPROGRAMM
BREAKDOWN
.
32
2.
DIE
DURCHBRUCHSPANNUNG
EINFACHER
PN-UEBERGAENGE
36
2.1
DER
PLANPARALLELE
ABRUPTE
PN-UEBERGANG
.
36
2.1.1
DIE
EINDIMENSIONALE
POISSON-GLEICHUNG
.
36
2.1.2
BERECHNUNG
DER
DURCHBRUCHSPANNUNG
.
38
2.1.3
NUMERISCHE
ERGEBNISSE
.
39
2.1.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
42
2.2
DER
ZYLINDRISCHE
ABRUPTE
PN-UEBERGANG
.
42
2.2.1
DIE
POISSON-GLEICHUNG
IN
ZYLINDERKOORDINATEN
.
42
2.2.2
BERECHNUNG
DER
DURCHBRUCHSPANNUNG
.
45
2.2.3
NUMERISCHE
ERGEBNISSE
.
46
2.2.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
49
2.3
DER
SPHAERISCHE
ABRUPTE
PN-UEBERGANG
.
50
2.3.1
DIE
POISSON-GLEICHUNG
IN
KUGELKOORDINATEN
.
50
2.3.2
BERECHNUNG
DER
DURCHBRUCHSPANNUNG
.
53
2.3.3
NUMERISCHE
ERGEBNISSE
.
53
2.3.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
60
3.
DAS
SPERRVERHALTEN
PLANARER
PN-UEBERGAENGE
UNTER
DEM
EINFLUSS
VON
FELDPLATTEN
62
3.1
EINLEITUNG
.
62
3.2
WIRKUNG
EINER
FELDPLATTE
AUF
PLANARE
PN-UEBERGAENGE
.
66
3.3
BERECHNUNG
DER
OPTIMALEN
FELDPLATTENKONTUR
.
68
3.3.1
THEORIE
.
68
3.3.2
ANWENDUNGEN
.
70
3.4
ERWEITERUNG
AUF
EINE
OPTIMIERTE
JTE-STRUKTUR
.
78
3.5
PROBLEMATIK
DER
FELDLINIENBERECHNUNG
.
79
3.6
ASYMPTOTISCHER
GRENZFALL
.
81
3.6.1
EINLEITUNG
.
81
3.6.2
STRUKTUR
MIT
UNENDLICH
LANGER
FELDPLATTE
.
82
3.6.3
VARIATION
DER
FELDPLATTENLAENGE
.
93
3.6.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
104
3.7
MEHRSTUFIGE
FELDPLATTENSTRUKTUR
.
105
3.7.1
VORSTELLUNG
DER
MODELLSTRUKTUR
.
105
3.7.2
EINDIMENSIONALER
STRUKTURAUFBAU
.
106
3.7.3
PLANARER
PN-UEBERGANG
OHNE
FELDPLATTE
.
107
3.7.4
UNENDLICH
LANGE
FELDPLATTE
.
108
3.7.5
MODELLSTRUKTUR
OHNE
CHANNELSTOPPER
.
110
3.7.5.1
STRUKTUR
OHNE
OBERFLAECHENLADUNGEN
.
111
3.7.5.2
EINFLUSS
VON
OBERFLAECHENLADUNGEN
.
113
3.7.6
MODELLSTRUKTUR
MIT
CHANNELSTOPPER
.
122
3.7.7
ZUSAMMENFASSENDE
SCHLUSSBEMERKUNGEN
.129
3.8
ZUSAMMENFASSUNG
.
130
4.
EINFLUSS
VON
LEITERBAHNEN
AUF
DAS
SPERRVERHALTEN
PLANARER
PN-UEBERGAENGE
132
4.1
PROBLEMSTELLUNG
.
132
4.2
STRUKTURPARAMETER
.
134
4.3
DER
VOLUMENDURCHBRUCH
.
135
4.4
OPTIMIERUNG
DER
JTE-DIODE
OHNE
LEITERBAHN
.
136
4.5
ZWEIDIMENSIONALE
BERECHNUNGEN
.
139
4.5.1
EINFLUSS
DER
LEITERBAHN
AUF
DIE
MODELLSTRUKTUR
.
139
4.5.2
KOMPENSATIONSMASSNAHMEN
.
141
4.6
DREIDIMENSIONALE
BERECHNUNGEN
.
146
4.6.1
STRUKTURAUFBAU
.146
4.6.2
RECHENGITTER
UND
DISKRETISIERUNGSFEHLER
.
148
4.6.3
DIODE
MIT
LEITERBAHN
IM
ABSTAND
5
PM
ZUM
HALBLEITER
.
148
4.6.4
OPTIMIERUNGSMASSNAHMEN
.166
4.6.5
DIODE
MIT
LEITERBAHN
IM
ABSTAND
3
PM
ZUM
HALBLEITER
.
171
4.7
ZUSAMMENFASSUNG
.
179
5.
DAS
BLOCKIERVERHALTEN
FELDGESTEUERTER
THYRISTOREN
(FCTHS)
182
5.1
EINLEITUNG
.
182
5.2
AUSFUEHRUNGSFORMEN
.
182
5.3
DAS
FUNKTIONSPRINZIP
.
184
5.4
ZIEL
DER
SIMULATIONSRECHNUNGEN
.187
5.5
NUMERISCHES
BERECHNUNGSVERFAHREN
.
188
5.6
DER
SURFACE-GATE-FCTH
.190
5.6.1
STRUKTURPARAMETER
.
190
5.6.2
RANDBEDINGUNGEN
.
191
5.6.3
RECHENGITTER
.
192
5.6.4
AUFBAU
EINER
POTENTIALBARRIERE
IM
KANAL
.
192
5.6.5
BERECHNUNG
DER
BLOCKIERSPANNUNG
.
196
5.6.6
EINFLUSS
DER
ANODE;
DURCHGRIFF
.199
5.7
DER
BURIED-GATE-FCTH
.
202
5.7.1
STRUKTURPARAMETER
.
202
5.7.2
RANDBEDINGUNGEN
.
203
5.7.3
RECHENGITTER
.204
5.7.4
AUFBAU
EINER
POTENTIALBARRIERE
IM
KANAL
.
204
5.7.5
BERECHNUNG
DER
BLOCKIERSPANNUNG
.
207
5.7.6
EINFLUSS
DER
BASISDOTIERUNG
.
210
5.7.7
EINFLUSS
DER
ANODE;
DURCHGRIFF
.
210
5.7.8
VARIATION
DES
ASPEKTVERHAELTNISSES
.
216
5.7.9
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
.
218
5.8
DER
RECESSED-GATE-FCTH
.
220
5.8.1
STRUKTURPARAMETER
.
220
5.8.2
ERGEBNISSE
.
221
5.9
VERGLEICH
DER
DREI
AUSFUEHRUNGSFORMEN
.
223
6.
ZUSAMMENFASSUNG
224
LITERATURVERZEICHNIS
228
A
ANHANG
236
A1
HISTORISCHER
UEBERBLICK
.
236
A2
NUMERISCHES
BERECHNUNGSVERFAHREN
.
238
A3
ERWEITERUNG
IN
DIE
DRITTE
DIMENSION
.242
DANKSAGUNG
245
LEBENSLAUF
246 |
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