Konstitution, Eigenschaften und Anwendungspotential komplexer kathodenzerstäubter Karbonitridschichten auf Titanbasis:
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| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
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1994
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| adam_text | Titel: Konstitution, Eigenschaften und Anwendungspotential komplexer kathodenzerstäubter Karbonitridschich
Autor: Bosserhoff, Bert Hans
Jahr: 1994
-V- Inhalt Seite 1. Einleitung 1 2. Konstitution und Eigenschaften der Schichtsysteme 3 2.1 Konstitution und Eigenschaften von Verbindungen aus dem System Ti-C-N 4 2.2 Konstitution und Eigenschaften von Verbindungen aus dem System Ti-Zr-C-N 9 2.3 Konstitution und Eigenschaften von Verbindungen aus dem System Ti-V-C-N 12 2.4 Oxidationsverhalten der untersuchten Verbindungen 16 3. Versuchsdurchführung 20 3.1 Substratwerkstoffe 20 3.1.1 Einfluß des Substaratwerkstoffcs auf die mechanische Belastbarkeit beschichteter Bauteile 21 3.1.2 Eigenschaften der verwendeten Substratwerkstoffe 24 3.1.2.1 Schnellarbeitsstahl 24 3.1.2.2 Hartmetall 27 3.1.2.3 Keramiken 29 3.2 Kathoden 31 3.3 Untersuchungsmethoden 33 3.4 Das Beschichtungsverfahren 36 3.4.1 Einfluß der Prozeßparameter auf die Reaktionen am Target 39 3.4.2 Einfluß der Prozeßparamenter auf die Gasatmosphäre 44 3.4.3 Einfluß der Prozeßparameter auf die Mikrostruktur der Schichten 48 4. Konstitution von kathodenzerstäubten Schichten 51 4.1 Schichten aus dem System Ti-C-N 51 4.2 Schichten aus dem System Ti-Zr-C-N 56 4.3 Schichten aus dem System Ti-V-C-N 69 5. Mechanische Eigenschaften von PVD-Schichten 77 5.1 Schichten aus dem System Ti-C-N 77 5.2 Schichten aus dem System Ti-Zr-C-N 80 5.3 Schichten aus dem System Ti-V-C-N 89
-VI- Seite 6. Entwicklung eines Tests zur Prüfung der Dauerfestigkeit von dünnen Schichten 96 7. Anwendungsorientierte Auswahl von PVD-Schichten 105 7.1 Informations- und Expertensysteme 105 7.1.1 Bedeutung externer Informationsquellen 105 7.1.2 Der Informationsprozeß 107 7.2 Informationen in Datenbanken 108 7.2.1 Exemplarische Vorstellung realisierter Datenbanken 111 7.3 Anwendungen der künstlichen Intelligenz 114 7.3.1 Expertensysteme 115 7.4 Wissensrepräsentation 118 7.4.1 Repräsentation von Wissen mittels Logik 119 7.4.2 Produktionssysteme 122 7.4.3 Semantische Netze 121 7.5 Hilfsmittel zur Erstellung von Expertensystemen 123 7.6 Ansatz für ein Expertensystem 125 7.6.1 Wissenserhebung 127 7.6.2 Anwenderfragebogen zur Systemanalyse von Verschleißvorgängen 129 7.7 Entwurf eines Expertensystems für PVD-Schichten 131 8. Zusammenfassung 140 9. Literatur 142
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