Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1994
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
355 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 122 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3183355051 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009843906 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19941025 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940926s1994 gw ad|| mm|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 94201359X |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3183355051 |9 3-18-335505-1 | ||
| 035 | |a (OCoLC)35542480 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009843906 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91G |a DE-210 |a DE-634 |a DE-83 | ||
| 084 | |a UF 1800 |0 (DE-625)145565: |2 rvk | ||
| 084 | |a WER 322d |2 stub | ||
| 084 | |a WER 312d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 882d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 803d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Cho, Young-Rae |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten |c Young-Rae Cho |
| 246 | 1 | 3 | |a Haftfestigkeit von TiN-Schichten |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1994 | |
| 300 | |a 122 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] |v 355 | |
| 502 | |a Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrohärte |0 (DE-588)4246328-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aluminium |0 (DE-588)4001573-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Verbundverhalten |0 (DE-588)4279872-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Verbundverhalten |0 (DE-588)4279872-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Mikrohärte |0 (DE-588)4246328-2 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Aluminium |0 (DE-588)4001573-7 |D s |
| 689 | 2 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 2 | 3 | |a Verbundverhalten |0 (DE-588)4279872-3 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 689 | 3 | 0 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 3 | 1 | |a Aluminium |0 (DE-588)4001573-7 |D s |
| 689 | 3 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 3 | 3 | |a Mikrohärte |0 (DE-588)4246328-2 |D s |
| 689 | 3 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 5] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI |v 355 |w (DE-604)BV000016442 |9 355 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HBZ Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006518325&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006518325 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804124201232105472 |
|---|---|
| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG...........................................................................................................................4
2.
GRUNDLAGEN........................................................................................................................7
2.1
MIKROHAERTEMESSUNG
.....................................................................................................7
2.2
ZUGSCHERFESTIGKEITSMESSUNG
AN
KLEBEVERBUNDEN..................................................9
2.3
LINEAR-ELASTISCHE
BRUCHMECHANIK...........................................................................11
2.3.1
ENERGIEBETRACHTUNGEN....................................................................................11
2.3.2
SPANNUNGSBETRACHTUNGEN...............................................................................
13
2.4
EIGENSCHAFTEN
DES
UEBERGANGSBEREICHS
ZWISCHEN
SCHICHT
UND
SUBSTRAT............15
2.5
EINFLUSS
DES
UEBERGANGSBEREICHS
AUF
DIE
HAFTFESTIGKEIT........................................18
3.
APPARATUR
UND
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG...............................................................19
3.1
BESCHICHTUNGSAPPARATUR............................................................................................19
3.1.1
AUFBAU...............................................................................................................19
3.1.2
MAGNETRONSPUTTERKANONE
UND
TARGET...........................................................21
3.1.3
PROZESSGASVERSORGUNG
UND
DRUCKMESSUNG....................................................21
3.2
SUBSTRATVORBEHANDLUNG.............................................................................................22
3.3
KERBAUFBRINGUNG........................................................................................................23
3.4
SPUTTERREINIGUNG
UND
SCHICHTHERSTELLUNG...............................................................24
3.4.1
SPUTTERREINIGUNG..............................................................................................24
3.4.2
SCHICHTHERSTELLUNG...........................................................................................24
3.5
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG...........................................................................................27
3.5.1
SCHICHTDICKENMESSUNGEN................................................................................27
3.5.2
SCHICHTMORPHOLOGIE........................................................................................27
3.5.3
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG......................................................................27
3.6
MIKROHAERTEMESSUNGEN...............................................................................................29
1
3.7
HAFTFESTIGKEITSMESSUNGEN..........................................................................................31
3.7.1
RITZTEST...............................................................................................................31
3.7.2
ZUGSCHERVERSUCH...............................................................................................33
3.7.3
DREIPUNKTBIEGEVERSUCH...................................................................................35
4.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE.......................................................................................37
4.1
LEISTUNGSFAEHIGKEIT
DER
MESSVERFAHREN....................................................................37
4.1.1
MIKROHAERTEMESSUNGEN...................................................................................37
4.1.1.1
EINFLUSS
DES
SUBSTRATS
AUF
DIE
HAERTE
VON
SCHICHTEN...................37
4.1.1.2
EINFLUSS
DER
ELASTISCHEN
TIEFENRUECKFEDERUNG
AUF
DIE
HAERTEMESSUNG......................................................................................41
4.1.1.3
EINFLUSS
DER
RANDWULSTAUSBILDUNG
AUF
DIE
HAERTEBESTIMMUNG
..
43
4.1.2
MESSUNG
DER
KRITISCHEN
LAST
IM
RITZTEST...................................................46
4.1.2.1
TIN-SCHICHTEN...................................................................................46
4.1.2.2
ALUMINIUMSCHICHTEN........................................................................47
4.1.3
ZUGSCHERFESTIGKEIT
VON
TIN-SCHICHTEN........................................................55
4.1.3.1
AUSWAHL
VON
ZWISCHENSCHICHTEN
ALS
KERBE................................55
4.1.3.2
KONVENTIONELLER-
UND
MODIFIZIERTER
ZUGSCHERVERSUCH...............55
4.1.4
BRUCHZAEHIGKEIT
IM
DREIPUNKTBIEGEVERSUCH................................................59
4.1.4.1
ANPASSUNG
DER
KUPFERSCHICHTEN.....................................................59
4.1.4.2
GRENZEN
DER
HAFTFESTIGKEITSMESSUNG
BEIM
KLEBEVERBUNDEN.....59
4.1.5
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
UND
STRUKTUR
DER
TIN-SCHICHTEN...........64
4.2
EINFLUSS
VON
PROZESSPARAMETERN
AUF
DIE
SCHICHTEIGENSCHAFTEN..........................70
4.2.1
TIN-SCHICHT
AUF
HSS-SUBSTRAT......................................................................70
4.2.1.1
EINFLUSS
DER
SPUTTERREINIGUNG
AUF
DIE
HAFTUNG............................70
4.2.1.2
EINFLUSS
DER
SAUERSTOFFKONTAMINATION
AUF
DIE
SCHICHTEIGENSCHAFTEN.........................................................................71
4.2.1.3
EINFLUSS
DER
BIASSPANNUNG
UND
DER
SCHICHTDICKE
AUF
DIE
SCHICHTEIGENSCHAFTEN.........................................................................72
2
4.2.2
ALUMINIUMSCHICHT
AUF
HSS-SUBSTRAT...........................................................81
4.2.2.1
EINFLUSS
DER
SPUTTERREINIGUNGSDAUER
AUF
DIE
HAFTFESTIGKEIT.....81
4.2.2.2
EINFLUSS
DER
BIASSPANNUNG
AUF
DIE
HAERTE
UND
DIE
BRUCHZAEHIGKEIT..................................................................................81
4.2.2.3
EINFLUSS
DER
AUSLAGERUNGSDAUER
AUF
DIE
BRUCHZAEHIGKEIT..........82
5.
DISKUSSION.......................................................................................................................86
5.1
BESTIMMUNG
DER
MECHANISCHEN
EIGENSCHAFTEN.....................................................86
5.1.1
MIKROHAERTE.......................................................................................................86
5.1.1.1
KORRIGIERTER
HAERTEWERT....................................................................87
5.1.1.2
GEOMETRIE
DER
DIAMANTSPITZE........................................................92
5.1.1
3
RANDWULSTAUSBILDUNG.......................................................................92
5.1.1.4
ELASTISCHE
TIEFENRUECKFEDERUNG......................................................93
5.1.1.5
SUBSTRATEINFLUSS..................................................................................94
5.1.2
KRITISCHE
LAST
IM
RITZTEST.............................................................................96
5.1.3
ZUGSCHERFESTIGKEIT
IM
ZUGSCHERVERSUCH......................................................98
5.1.3.1
KONVENTIONELLE
ZUGSCHERPROBE......................................................99
5.1.3.2
MODIFIZIERTE
ZUGSCHERPROBE.........................................................100
5.1.4
BRUCHZAEHIGKEIT
IM
DREIPUNKTBIEGEVERSUCH..............................................104
5.2
ABHAENGIGKEIT
DER
MECHANISCHEN
EIGENSCHAFTEN
VON
DEN
PROZESSPARAMETERN....................................................................................................108
5.2.1
TIN-SCHICHTEN................................................................................................108
5.2.2
ALUMINIUMSCHICHTEN.....................................................................................113
5.3
SCHLUSSFOLGERUNGEN
FUER
WEITERE
UNTERSUCHUNGEN..................................................114
6.
ZUSAMMENFASSUNG.....................................................................................................116
7.
LITERATUR.........................................................................................................................120
3
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Cho, Young-Rae |
| author_facet | Cho, Young-Rae |
| author_role | aut |
| author_sort | Cho, Young-Rae |
| author_variant | y r c yrc |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009843906 |
| classification_rvk | UF 1800 |
| classification_tum | WER 322d WER 312d FER 882d PHY 803d |
| ctrlnum | (OCoLC)35542480 (DE-599)BVBBV009843906 |
| discipline | Physik Werkstoffwissenschaften Fertigungstechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02950nam a2200733 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV009843906</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19941025 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940926s1994 gw ad|| mm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">94201359X</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3183355051</subfield><subfield code="9">3-18-335505-1</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)35542480</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009843906</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UF 1800</subfield><subfield code="0">(DE-625)145565:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 322d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 312d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 882d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 803d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Cho, Young-Rae</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten</subfield><subfield code="c">Young-Rae Cho</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Haftfestigkeit von TiN-Schichten</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">122 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]</subfield><subfield code="v">355</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrohärte</subfield><subfield code="0">(DE-588)4246328-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aluminium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4001573-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Verbundverhalten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4279872-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Verbundverhalten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4279872-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Mikrohärte</subfield><subfield code="0">(DE-588)4246328-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Aluminium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4001573-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="3"><subfield code="a">Verbundverhalten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4279872-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="1"><subfield code="a">Aluminium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4001573-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="3"><subfield code="a">Mikrohärte</subfield><subfield code="0">(DE-588)4246328-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">5]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI</subfield><subfield code="v">355</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000016442</subfield><subfield code="9">355</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HBZ Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006518325&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006518325</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009843906 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:41:54Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3183355051 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006518325 |
| oclc_num | 35542480 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-634 DE-83 |
| owner_facet | DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-634 DE-83 |
| physical | 122 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] |
| spelling | Cho, Young-Rae Verfasser aut Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten Young-Rae Cho Haftfestigkeit von TiN-Schichten Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1994 122 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] 355 Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1994 Mikrohärte (DE-588)4246328-2 gnd rswk-swf Aluminium (DE-588)4001573-7 gnd rswk-swf Verbundverhalten (DE-588)4279872-3 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd rswk-swf Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Sputtern (DE-588)4182614-0 s Titannitrid (DE-588)4185564-4 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Verbundverhalten (DE-588)4279872-3 s DE-604 Mikrohärte (DE-588)4246328-2 s Aluminium (DE-588)4001573-7 s 5] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI 355 (DE-604)BV000016442 355 HBZ Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006518325&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Cho, Young-Rae Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten Mikrohärte (DE-588)4246328-2 gnd Aluminium (DE-588)4001573-7 gnd Verbundverhalten (DE-588)4279872-3 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4246328-2 (DE-588)4001573-7 (DE-588)4279872-3 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4185564-4 (DE-588)4182614-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten |
| title_alt | Haftfestigkeit von TiN-Schichten |
| title_auth | Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten |
| title_exact_search | Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten |
| title_full | Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten Young-Rae Cho |
| title_fullStr | Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten Young-Rae Cho |
| title_full_unstemmed | Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten Young-Rae Cho |
| title_short | Methoden zur Bestimmung der Haftfestigkeit und der Härte von gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten auf HSS-Substraten |
| title_sort | methoden zur bestimmung der haftfestigkeit und der harte von gesputterten titannitrid und aluminiumschichten auf hss substraten |
| topic | Mikrohärte (DE-588)4246328-2 gnd Aluminium (DE-588)4001573-7 gnd Verbundverhalten (DE-588)4279872-3 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd |
| topic_facet | Mikrohärte Aluminium Verbundverhalten Dünne Schicht Titannitrid Sputtern Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006518325&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000016442 |
| work_keys_str_mv | AT choyoungrae methodenzurbestimmungderhaftfestigkeitundderhartevongesputtertentitannitridundaluminiumschichtenaufhsssubstraten AT choyoungrae haftfestigkeitvontinschichten |