Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase: Beiträge zu Kinetik und Mechanismus
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0.
INHALTSVERZEICHNIS
.
1.
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
.
1
2.
LITERATURUBERSICHT
7
2.1.
ABSCHEIDEMECHANISMEN
VON
SILICIUMFILMEN
-
DERZEITIGER
KENNTNISSTAND
.
7
2.1.1.
THERMISCHE
ZERSETZUNG
VON
SILAN
.
7
2
1.2.
PLASMAINDUZIERTE
ZERSETZUNG
VON
SILAN
.
14
2.1
2.1.
DER
SILYLMECHANISMUS
.
16
2
1.2.2.
DER
SILYLENMECHANISMUS
.
17
2.1.3.
DISILAN
UND
HOEHERE
SILANE
.
20
2
2.
ABSCHEIDEMECHANISMEN
VON
GERMANIUMFILMEN-DERZEITIGER
KENNTNISSTAND.
.24
2
2.1.
THERMISCHE
ZERSETZUNG
VON
GERMAN
.
24
2.2
2.
PLASMAINDUZIERTE
ZERSETZUNG
VON
GERMAN
.
25
3
EXPERIMENTELLES
.
28
3.1.
ABSCHEIDEREAKTOR
.
28
3
2.
UHV-MOLEKULSTRAHLMASSENSPEKTROMETRIE
UND
RELAXATIONSMASSENSPEKTROSKOPIE
31
3.3.
LECKRATE
.
34
3.4.
VERWEILZEIT
.
34
4.
MODELLVORSTELLUNGEN
.
36
4
1.
FLUIDMECHANIK
.
36
4.2.
MASSENSPEKTROMETRIE
IN
KINETISCHEN
MESSUNGEN
.
38
4.3.
KINETIK
UND
RELAXATION
.
42
5.
ERGEBNISSE
UND
INTERPRETATION
.
45
5.1
GASPHASENKINETIK
DES
SYSTEMS
SILAN/WASSERSTOFF
UNTER
PLASMABEDINGUNGEN
.
.45
5.1.1.
RELAXATIONSVERHALTEN
VON
SILAN
UND
WASSERSTOFF
.
45
5
1
1.1.
DISSOZIATION
VON
SILAN
IN
SILYLEN
UND
MOLEKULAREN
WASSERSTOFF
.
46
5
1.1.2.
BILDUNG
VON
SILYL
UND
MOLEKULAREM
WASSERSTOFF
AUS
SILAN
UND
ATOMAREM
WASSERSTOFF
.
48
5
1.1.3.
EINFLUSS
DER
ELEKTRONENKONZENTRATION
AUF
DIE
SILANZERSETZUNG
.
52
5.1.14.
EINFLUSS
DER
SILANKONZENTRATION
IN
DER
ENTLADUNG
AUF
SILYL
UND
SILYLENKANAL
.
53
5
1.2.
RELAXATIONSVERHALTEN
VON
SILYLEN
.
55
5.1.3
RELAXATIONSVERHALTEN
VON
DISILAN
.
56
5
1.3.1
DIE
LANGSAMEN
ZEITKONSTANTEN
DES
DISILANRELAXATIONSPROZESSES
.
57
5
13
2.
DIE
SCHNELLE
ZEITKONSTANTE
DES
DISILANRELAXATIONSPROZESSES
.
58
5
2
GASPHASENKINETIK
DES
SYSTEMS
GERMAN/WASSERSTOFF
UNTER
PLASMABEDINGUNGEN
.
61
5.2
1.
EICHMESSUNGEN
.
61
I
NHALTSVERZEICHNIS
5.2.1.1.
ELEKTRONENENERGIE
UND
FRAGMENTIERUNGSMUSTER
.
61
5.2.1.2.
DRUCKABHAENGIGKEIT
.
70
5.2
2.
KONZENTRATIONEN
IN
DER
GASPHASE
UNTER
ABSCHEIDEBEDINGUNGEN
.
70
5
2.3.
KONZENTRATIONEN
IN
DER
GASPHASE
BEI
KONTROLLIERTER
VERUNREINIGUNG
.
76
5.2.4.
KONZENTRATIONEN
IN
DER
GASPHASE
BEI
ERHOEHTER
GASTEMPERATUR
.
87
5.25.
KONZENTRATIONEN
IN
DER
GASPHASE
BEI
VARIIERTER
ENTLADUNGSSTROMDICHTE
.
91
5.2.6.
BESTIMMUNG
KINETISCHER
DATEN
.
95
5.2.7.
IDENTIFIKATION
DES
DOMINIERENDEN
ZERSETZUNGSPRODUKTS
IN
GERMANENTLADUNGEN
MITTELS
MASSENSPEKTROMETRIE
.
100
5.2.8.
RELAXATIONSMESSUNGEN
AN
GERMAN
UND
WASSERSTOFF
IN
GERMANENTLADUNGEN
.
115
6.
ZUSAMMENFASSUNG
.
116
7.
AUSBLICK
.
118
8.
LITERATUR
.
120 |
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