Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase: Beiträge zu Kinetik und Mechanismus
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1993
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 125 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009757771 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20100920 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940812s1993 d||| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 941876829 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75503907 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009757771 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a PHY 690d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 279d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Konwitschny, Rudolf |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase |b Beiträge zu Kinetik und Mechanismus |c Rudolf Konwitschny |
| 264 | 1 | |c 1993 | |
| 300 | |a 125 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a München, Techn. Univ., Diss., 1993 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Germanium |0 (DE-588)4135644-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Reaktionsmechanismus |0 (DE-588)4177123-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Germanium |0 (DE-588)4135644-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Reaktionsmechanismus |0 (DE-588)4177123-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006454542&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006454542 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807774323270746112 |
|---|---|
| adam_text |
0.
INHALTSVERZEICHNIS
.
1.
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
.
1
2.
LITERATURUBERSICHT
7
2.1.
ABSCHEIDEMECHANISMEN
VON
SILICIUMFILMEN
-
DERZEITIGER
KENNTNISSTAND
.
7
2.1.1.
THERMISCHE
ZERSETZUNG
VON
SILAN
.
7
2
1.2.
PLASMAINDUZIERTE
ZERSETZUNG
VON
SILAN
.
14
2.1
2.1.
DER
SILYLMECHANISMUS
.
16
2
1.2.2.
DER
SILYLENMECHANISMUS
.
17
2.1.3.
DISILAN
UND
HOEHERE
SILANE
.
20
2
2.
ABSCHEIDEMECHANISMEN
VON
GERMANIUMFILMEN-DERZEITIGER
KENNTNISSTAND.
.24
2
2.1.
THERMISCHE
ZERSETZUNG
VON
GERMAN
.
24
2.2
2.
PLASMAINDUZIERTE
ZERSETZUNG
VON
GERMAN
.
25
3
EXPERIMENTELLES
.
28
3.1.
ABSCHEIDEREAKTOR
.
28
3
2.
UHV-MOLEKULSTRAHLMASSENSPEKTROMETRIE
UND
RELAXATIONSMASSENSPEKTROSKOPIE
31
3.3.
LECKRATE
.
34
3.4.
VERWEILZEIT
.
34
4.
MODELLVORSTELLUNGEN
.
36
4
1.
FLUIDMECHANIK
.
36
4.2.
MASSENSPEKTROMETRIE
IN
KINETISCHEN
MESSUNGEN
.
38
4.3.
KINETIK
UND
RELAXATION
.
42
5.
ERGEBNISSE
UND
INTERPRETATION
.
45
5.1
GASPHASENKINETIK
DES
SYSTEMS
SILAN/WASSERSTOFF
UNTER
PLASMABEDINGUNGEN
.
.45
5.1.1.
RELAXATIONSVERHALTEN
VON
SILAN
UND
WASSERSTOFF
.
45
5
1
1.1.
DISSOZIATION
VON
SILAN
IN
SILYLEN
UND
MOLEKULAREN
WASSERSTOFF
.
46
5
1.1.2.
BILDUNG
VON
SILYL
UND
MOLEKULAREM
WASSERSTOFF
AUS
SILAN
UND
ATOMAREM
WASSERSTOFF
.
48
5
1.1.3.
EINFLUSS
DER
ELEKTRONENKONZENTRATION
AUF
DIE
SILANZERSETZUNG
.
52
5.1.14.
EINFLUSS
DER
SILANKONZENTRATION
IN
DER
ENTLADUNG
AUF
SILYL
UND
SILYLENKANAL
.
53
5
1.2.
RELAXATIONSVERHALTEN
VON
SILYLEN
.
55
5.1.3
RELAXATIONSVERHALTEN
VON
DISILAN
.
56
5
1.3.1
DIE
LANGSAMEN
ZEITKONSTANTEN
DES
DISILANRELAXATIONSPROZESSES
.
57
5
13
2.
DIE
SCHNELLE
ZEITKONSTANTE
DES
DISILANRELAXATIONSPROZESSES
.
58
5
2
GASPHASENKINETIK
DES
SYSTEMS
GERMAN/WASSERSTOFF
UNTER
PLASMABEDINGUNGEN
.
61
5.2
1.
EICHMESSUNGEN
.
61
I
NHALTSVERZEICHNIS
5.2.1.1.
ELEKTRONENENERGIE
UND
FRAGMENTIERUNGSMUSTER
.
61
5.2.1.2.
DRUCKABHAENGIGKEIT
.
70
5.2
2.
KONZENTRATIONEN
IN
DER
GASPHASE
UNTER
ABSCHEIDEBEDINGUNGEN
.
70
5
2.3.
KONZENTRATIONEN
IN
DER
GASPHASE
BEI
KONTROLLIERTER
VERUNREINIGUNG
.
76
5.2.4.
KONZENTRATIONEN
IN
DER
GASPHASE
BEI
ERHOEHTER
GASTEMPERATUR
.
87
5.25.
KONZENTRATIONEN
IN
DER
GASPHASE
BEI
VARIIERTER
ENTLADUNGSSTROMDICHTE
.
91
5.2.6.
BESTIMMUNG
KINETISCHER
DATEN
.
95
5.2.7.
IDENTIFIKATION
DES
DOMINIERENDEN
ZERSETZUNGSPRODUKTS
IN
GERMANENTLADUNGEN
MITTELS
MASSENSPEKTROMETRIE
.
100
5.2.8.
RELAXATIONSMESSUNGEN
AN
GERMAN
UND
WASSERSTOFF
IN
GERMANENTLADUNGEN
.
115
6.
ZUSAMMENFASSUNG
.
116
7.
AUSBLICK
.
118
8.
LITERATUR
.
120 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Konwitschny, Rudolf |
| author_facet | Konwitschny, Rudolf |
| author_role | aut |
| author_sort | Konwitschny, Rudolf |
| author_variant | r k rk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009757771 |
| classification_tum | PHY 690d ELT 279d |
| ctrlnum | (OCoLC)75503907 (DE-599)BVBBV009757771 |
| discipline | Physik Elektrotechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV009757771</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20100920</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940812s1993 d||| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">941876829</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75503907</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009757771</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 690d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 279d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Konwitschny, Rudolf</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase</subfield><subfield code="b">Beiträge zu Kinetik und Mechanismus</subfield><subfield code="c">Rudolf Konwitschny</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">125 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Techn. Univ., Diss., 1993</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Germanium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135644-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Reaktionsmechanismus</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177123-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Germanium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135644-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Reaktionsmechanismus</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177123-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006454542&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006454542</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009757771 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-19T00:38:59Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006454542 |
| oclc_num | 75503907 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-12 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-12 DE-11 DE-188 |
| physical | 125 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| record_format | marc |
| spelling | Konwitschny, Rudolf Verfasser aut Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase Beiträge zu Kinetik und Mechanismus Rudolf Konwitschny 1993 125 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier München, Techn. Univ., Diss., 1993 Germanium (DE-588)4135644-5 gnd rswk-swf Reaktionsmechanismus (DE-588)4177123-0 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Germanium (DE-588)4135644-5 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s Reaktionsmechanismus (DE-588)4177123-0 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006454542&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Konwitschny, Rudolf Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase Beiträge zu Kinetik und Mechanismus Germanium (DE-588)4135644-5 gnd Reaktionsmechanismus (DE-588)4177123-0 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4135644-5 (DE-588)4177123-0 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4009846-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase Beiträge zu Kinetik und Mechanismus |
| title_auth | Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase Beiträge zu Kinetik und Mechanismus |
| title_exact_search | Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase Beiträge zu Kinetik und Mechanismus |
| title_full | Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase Beiträge zu Kinetik und Mechanismus Rudolf Konwitschny |
| title_fullStr | Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase Beiträge zu Kinetik und Mechanismus Rudolf Konwitschny |
| title_full_unstemmed | Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase Beiträge zu Kinetik und Mechanismus Rudolf Konwitschny |
| title_short | Chemische Abscheidung von Germanium aus der Gasphase |
| title_sort | chemische abscheidung von germanium aus der gasphase beitrage zu kinetik und mechanismus |
| title_sub | Beiträge zu Kinetik und Mechanismus |
| topic | Germanium (DE-588)4135644-5 gnd Reaktionsmechanismus (DE-588)4177123-0 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd |
| topic_facet | Germanium Reaktionsmechanismus Dünne Schicht CVD-Verfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006454542&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT konwitschnyrudolf chemischeabscheidungvongermaniumausdergasphasebeitragezukinetikundmechanismus |