Systematische Untersuchungen zur Funktion von Mikrostreifengaszählern:
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1994
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
1
2.
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
3
2.1.
AUFBAU
UND
FUNKTIONSWEISE
DES
MIKROSTREIFENDETEKTORS
3
2.2.
DIE
SUBSTRATMATERIALIEN
7
2.2.1.
GLAS
UND
SEINE
EIGENSCHAFTEN
7
2.2.2.
DIE
EIGENSCHAFTEN
VON
POLYIMID
16
3.
HERSTELLUNG
DER
MIKROSTREIFENSTRUKTUREN
19
3.1.
HERSTELLUNG
DER
MASKE
19
3.2.
DAS
LITHOGRAPHISCHE
VERFAHREN
FUER
GLAESER
20
3.3.
HANDHABUNG
DUENNER
GLAESER
22
3.4.
LITHOGRAPHIE
BEI
POLYIMIDFOLIEN
24
4.
DIE
UNTERSUCHTEN
MIKROSTREIFENSTRUKTUREN
26
4.1.
ZUSAMMENSTELLUNG
DER
UNTERSUCHTEN
MIKROSTREIFENSTRUKTUREN
26
4.2.
GEOMETRISCHE
FORM
DER
STRUKTUREN
27
4.3.
DIE
VERWENDETEN
SUBSTRATE
31
5.
BESCHREIBUNG
DES
MEBAUFBAUS
33
5.1.
PRINZIPIELLER
AUFBAU
33
5.2.
AUFBAU
DER
TESTKAMMER
34
5.3.
ELEKTRONIK
UND
SIGNALAUFARBEITUNG
38
6.
AUFNAHME
UND
ANALYSE
DER
DATEN
40
6.1.
DAS
PRAEPARAT
40
6.2.
DIE
SPEKTREN
41
6.3.
BESTIMMUNG
DER
GASVERSTAERKUNG
43
7.
MESSERGEBNISSE
UND
AUSWERTUNG
44
7.1.
MESSUNGEN
MIT
MIKROSTREIFENSTRUKTUREN
VOM
TYP
ILL6C
44
7.2.
MESSUNGEN
MIT
STRUKTUREN
DES
TYPS
1-4
63
7.3.
MESSUNGEN
MIT
STRUKTUREN
AUF
DUENNEN
GLASTRAEGEM
OHNE
BODENELEKTRODE
78
7.4.
TEST
AUF
PROPORTIONALITAET
82
7.5.
LANGZEITSTABILITAET
UND
ALTERUNGSEFFEKTE
84
7.6.
SPANNUNGSFESTIGKEIT
DER
STRUKTUREN
95
7.7.
SPEZIELL
BEHANDELTE
STRUKTUREN
98
8.
SIMULATION
DER
MIKROSTREIFENKAMMER
8.1.
DAS
VERWENDETE
BERECHNUNGSVERFAHREN
8.2.
SIMULATION
DER
GASVERSTAERKUNG
8.3.
SIMULATION
DER
GASMIKROSTREIFENZAEHLER
102
102
102
103
9.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
116
ANHANG
I.
DIE
SIMULATIONSLADUNGSMETHODE
II.
MESSELEKTRONIK
III.
DIE
55FE-QUELLE
120
125
129
LITERATURVERZEICHNIS
FINNENVERZEICHNIS
130
134 |
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