Stand und Perspektiven der Herstellung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis für Anwendungungen in der Mikrosystemtechnik:
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
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| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Teltow
VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
1994
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| Schriftenreihe: | Reihe Innovationen in der Mikrosystemtechnik
12 |
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