Piezoresistive und kapazitive Drucksensoren mit integrierter Signalvorverarbeitung: Verbundprojekt 1989 - 1992, Abschlußbericht
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Teltow
VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
1994
|
| Schriftenreihe: | Reihe Innovationen in der Mikrosystemtechnik
9 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 84, 49 S. graph. Darst. |
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| adam_text | Inhalt
1 Einleitung
2 Piezoresistiver Sensor
2 1 Aufgabenstellung
2 2 Zwei-Chip-Lösung
2 3 Ein-Chip-Lösung
2 4 Montagetechnik
2 5 Rechnergestützter digitaler Abgleich des piezoresistiven Drucksensors
3 Konzepte und Schaltungstechnik für Sensorsysteme
4 Kapazitiver Sensor
4 1 Aufgabenstellung
4 2 Entwurfskriterien für das Sensorelement
4 3 Technologische Realisierung
4 4 Meßtechnische Eigenschaften
5 CMOS-Interface für kapazitive Sensoren
5 1 Konzept zur Anregung und Auswertung kapazitiver und resistiver Sensoren
5 2 CMOS-SC-Technik
5 3 Auswertung kapazitiver Sensoren
5 4 Bandgapreferenz als Anregungsspannungsquelle
5 5 Chipfoto und Meßwerte
Anhang:
Linearer kapazitiver Dickschicht-Drucksensor mit Auswerteschaltung in CMOS-Technik
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