IC-Prozesskompatible anisotrop wirkende Ätzlösungen zur Herstellung integrierter Mikrosysteme in Silicium:
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| Format: | Mikrofilm Buch |
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| Veröffentlicht: |
1993
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| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Berlin, Techn. Univ., Diss., 1993. - Mikroreprod. eines Ms. 130 S. : Ill., graph. Darst. |
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