Untersuchung struktureller Defekte in GaAs mit Röntgen-Kleinwinkelstreuung unter Anwendung der Streukontrastvariation:
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Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek
1993
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2851 |
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INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
1.
EINLEITUNG
UND
ZIELSETZUNG
DER
ARBEIT
1
2.
AUSSCHEIDUNGEN
UND
VERSETZUNGEN
IN
GALLIUMARSENID
2
2.1.
VERFAHREN
ZUR
HERSTELLUNG
VON
GAAS-EINKRISTALLEN
2
2.2.
PHASENDIAGRAMM
VON
GAAS
3
2.3.
AUSSCHEIDUNGEN
4
2.4.
VERSETZUNGEN
6
3.
PROBENPRAEPARATION
7
3.1.
BRECHEN
DER
PROBEN
7
3.2.
THERMISCHE
NACHBEHANDLUNG
7
3.3.
ABDUENNEN
DER
PROBEN
9
3.4.
POLITUR
DER
PROBENOBERFLAECHE
10
3.5.
CHEMISCHE
ANALYSE
12
4.
ROENTGEN
-
KLEINWINKELSTREUUNG
14
4.1.
GRUNDLAGEN
DER
ROENTGEN-KLEINWINKELSTREUUNG
14
4.2.
ANOMALE
DISPERSION
16
4.3.
ROENTGEN-KLEINWINKELSTREUUNG
FUER
BINAERE
SYSTEME
18
4.4.
AUSWERTUNG
IM
ZWEI-PHASEN-MODELL
22
4.5.
BESTIMMUNG
DES
VOLUMENANTEILS
DER
AUSGESCHIEDE
NEN
PHASE
SOWIE
DER
CHEMISCHEN
ZUSAMMENSETZUNG
UND
DER
ATOMAREN
DICHTE
IN
DEN
AUSSCHEIDUNGEN
24
5.
APPARATIVER
AUFBAU
UND
DURCHFUEHRUNG
DES
EXPERIMENTS
28
5.1.
STRAHLFUEHRUNG
IN
DER
APPARATUR
JUSIFA
28
5.2.
MONOCHROMATISIERUNG
DES
ROENTGENSTRAHLS
30
5.3.
PROBENKAMMER
UND
STRAHLROHRE
34
5.4.
ZWEIDIMENSIONAL
ORTSAUFLOESENDER
DETEKTOR
34
5.5.
STEUERUNG
DER
MESSWERTAUFNAHME
36
5.6.
MESSUNG
DER
ORTSABHAENGIGEN
DETEKTOREMPFINDLICHKEIT
36
5.7.
MESSUNG
DES
DUNKELSTROMS
DER
DETEKTOREN
37
5.8.
LEERMESSUNG
38
5.9.
BESTIMMUNG
DES
STRAHLZENTRUMS
38
5.10.
BESTIMMUNG
DER
PROBEN-TRANSMISSION
39
5.11.
MESSUNG
DER
KLEINWINKELSTREUUNG
DER
PROBE
40
5.12.
BESTIMMUNG
DES
DIFFERENTIELLEN
WIRKUNGSQUER
41
SCHNITTES
6.
ZERLEGUNG
VON
MESSDATEN
NACH
BHATIA-THORNTON
44
6.1.
BERECHNUNG
DER
STREUBEITRAEGE
AUS
GEMESSENEN
DATEN
44
6.2.
BERECHNUNG
DES
ABSOLUTEN
FEHLERS
47
6.3.
ZERLEGUNG
SIMULIERTER
DATEN
48
6.4.
AUSWIRKUNGEN
SYSTEMATISCHER
FEHLER
AUF
DIE
ZER
49
LEGUNG
6.5.
AUSWIRKUNGEN
STATISTISCHER
FEHLER
AUF
DIE
ZERLEGUNG
53
6.6.
AUSWIRKUNGEN
VON
FEHLERN
BEI
DER
TRANSMISSIONS
56
BESTIMMUNG
7.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
61
7.1.
WAHL
DER
VERWENDETEN
ROENTGENENERGIEN
61
7.2.
BESTIMMUNG
DES
Q-UNABHAENGIGEN
UNTERGRUNDES
61
7.3.
EINFLUSS
DER
OBERFLAECHENBEHANDLUNG
AUF
DAS
STREU
64
VERHALTEN
7.4.
NACHWEIS
VON
AUSSCHEIDUNGEN
72
7.5.
MESSUNG
SPHAERISCH
GEMITTELTER
STREUKURVEN
81
8.
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
84
8.1.
INTERPRETATION
DES
STREUBEITRAGES
S
N
N
(Q)
84
8.2.
AUSSCHEIDUNGSVERHALTEN
DER
SUMITOMO-LEC-PROBEN
91
OHNE
EIGENE
THERMISCHE
NACHBEHANDLUNG
8.3.
AUSSCHEIDUNGSVERHALTEN
DER
SUMITOMO-LEC-PROBEN
93
MIT
EIGENER
THERMISCHER
NACHBEHANDLUNG
8.4.
AUSSCHEIDUNGSVERHALTEN
DER
UEBRIGEN
PROBEN
94
8.5.
VERLAUF
DER
SOLIDUSLINIE
IM
PHASENDIAGRAMM
VON
95
GAAS
9.
ZUSAMMENFASSUNG
97
A
.
ANHANG
99
AL
BESCHREIBUNG
DER
COMPUTERPROGRAMMS
AUSWERT
99
HERLEITUNG
DER
AUSDRUECKE
FUER
DIE
STREUBEITRAEGE
104
S
NN
,
S
CC
UND
S
NC
IM
ZWEI-PHASEN-MODELL
LITERATURVERZEICHNIS
107
DANKSAGUNG
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