Messung von Ionenenergieverteilungen hinter der Randschicht einer Hochfrequenz-Entladung in Verbindung mit Langmuirsondenmessungen:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
3
2
DIE
KAPAZITIV
GEKOPPELTE
HOCHFREQUENZENTLADUNG
UND
IHRE
RANDSCHICH
TEN
6
2.1
ENTLADUNGSMECHANISMEN
.
8
2.2
DIE
STATIONAERE
RANDSCHICHT
.
10
2.3
DIE
HOCHFREQUENZ-RANDSCHICHT
.
12
3
BERECHNUNG
VON
LONENVERTEILUNGEN
15
3.1
KINETISCHE
THEORIE
.
15
3.2
BERECHNETE
VERTEILUNGSFUNKTIONEN
FUER
EINIGE
SPEZIALFAELLE
.
18
3.3
ANDERE
THEORETISCHE
MODELLE
.
25
4
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
30
4.1
DIE
HOCHFREQUENZENTLADUNG
.
30
4.2
DER
LONENENERGIEANALYSATOR
.
33
5
EXPERIMENTELLE
BESTIMMUNG
VON
LONENVERTEILUNGEN
MIT
EINEM
GEGEN
FELDANALYSATOR
35
5.1
DAS
MESSPRINZIP
.
35
5.2
STOERUNGEN
.
.
37
5.2.1
GITTEREFFEKTE
.
37
5.2.2
TRANSMISSIONSVERHALTEN
DES
GESAMTSYSTEMS
.
38
5.2.3
RAUMLADUNGEN
IM
ANALYSATOR
.
38
5.2.4
SEKUNDAERELEKTRONENEMISSION
.
39
5.2.5
UMLADUNGEN
IM
ANALYSATOR
.
42
5.3
AUSWERTUNG
DER
ANALYSATORKENNLINIEN
.
43
6
LANGMUIRSONDENDIAGNOSTIK
48
6.1
THEORIE
DER
ZYLINDERSONDE
.
49
6.1.1
DER
LONENSAETTIGUNGSSTROM
.
49
6.1.2
DER
ELEKTRONENANLAUFSTROM
UND
DIE
ELEKTRONENVERTEILUNGSFUNKTION
.
52
6.1.3
DER
ELEKTRONENSAETTIGUNGSSTROMBEREICH
.
54
6.2
DIE
HOCHFREQUENZKOMPENSATION
.
55
6.3
AUSWERTUNG
MIT
BEISPIELEN
.
58
7
VERGLEICH
DER
PLASMAPARAMETER
AUS
SONDENMESSUNGEN
UND
LONENVERTEI
LUNGEN
66
7.1
HELIUM
.
66
7.2
HELIUM,
HOHLKATHODE
.
73
7.3
ARGON
.
75
8
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
DER
LONENVERTEILUNGEN
80
8.1
ABHAENGIGKEIT
VOM
DRUCK
FUER
VERSCHIEDENE
GASE
.
80
8.1.1
ARGON
.
80
8.1.2
SAUERSTOFF
.
85
8.1.3
HELIUM
.
86
8.1.4
HELIUM,
HOHLKATHODE
.
89
8.2
ABHAENGIGKEIT
VON
DER
LEISTUNG
.
90
8.3
ABHAENGIGKEIT
VON
DER
FREQUENZ
.
92
8.4
MESSUNGEN
AN
HF-EUTLADUNGEN
MIT
UEBERLAGERTER
GLEICHSPANNUNG
.
94
9
VERGLEICHE
MIT
ANDEREN
MESSUNGEN
99
10
VERGLEICH
EXPERIMENT
-
THEORIE
102
10.1
ARGON
.
102
10.2
HELIUM
.
111
11
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
114
LITERATUR
117 |
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