Taddiken, H. (1994). Prozeßinduzierte mechanische Spannungen in TiSi-2-Schichten Während der Temperung in einem RTP-System (Als Ms. gedr.). VDI-Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Taddiken, Hans. Prozeßinduzierte Mechanische Spannungen in TiSi-2-Schichten Während Der Temperung in Einem RTP-System. Als Ms. gedr. Düsseldorf: VDI-Verl, 1994.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Taddiken, Hans. Prozeßinduzierte Mechanische Spannungen in TiSi-2-Schichten Während Der Temperung in Einem RTP-System. Als Ms. gedr. VDI-Verl, 1994.
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