Untersuchungen zum thermischen Effekt bei der physikalischen Abscheidung von Metallen aus der Dampfphase im Vakuum:
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1993
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GLIEDERUNG
SEITE
1. EINLEITUNG 1
2. ENERGIEBILANZ AM SUBSTRAT BEI DER THERMISCHEN
VERDAMPFUNG VON METALLEN IM HOCHVAKUUM
2.1. VERDAMPFUNG UND KONDENSATION IM HOCHVAKUUM 8
2.2. LEISTUNGSBILANZ AM SUBSTRAT 13
2.3. ABSCHAETZUNG DER EINZELNEN BEITRAEGE ZUR LEI
STUNGSBILANZ UND VERGLEICH MIT MESSUNGEN AN
ZWEI AUSGEWAEHLTEN SUBSTANZEN 18
2.4 QUALITATIVE MESSUNGEN ZUR AENDERUNG DES AB
SORPTIONSVERMOEGENS SICH BILDENDER SCHICHTEN 23
3. BESCHREIBUNG DES EXPERIMENTELLEN AUFBAUS 28
4. TRENNUNG VON TEILCHENSTROM UND THERMISCHER
STRAHLUNG DER VERDAMPFERQUELLE
4.1. MOEGLICHKEITEN ZUR STRAHLUNGSFREIEN BEDAMPFUNG
IM HOCHVAKUUM 34
4.2. BESCHREIBUNG DER VERWENDETEN APPARATUR ZUR TREN
NUNG VON TEILCHENSTROM UND THERMISCHER STRAHLUNG 35
4.2.1. AUFBAU DER APPARATUR 36
4.2.2. DURCHLAESSIGKEIT UND TRANSPARENZ EINER ROTIEREN
DEN 2-SCHEIBEN-ANORDNUNG 39
4.3. GESCHWINDIGKEITSVERTEILUNG THERMISCH VERDAMPFTER
TEILCHEN IM HOCHVAKUUM
4.3.1. VERDAMPFUNG AUS DEM THERMISCHEN GLEICHGEWICHT 47
4.3.2. VERDAMPFUNG AUS NICHTGLEICHGEWICHTSQUELLEN 51
4.4. EXPERIMENTELLE BESTIMMUNG DER TRANSMISSIONS
KURVEN 52
4.5. BERECHNUNG DES MITTLEREN GESCHWINDIGKEITSQUA
DRATS FUER DIE DAS FILTERSYSTEM DURCHDRINGENDEN
TEILCHEN 58
5. MESSUNG DES THERMISCHEN EFFEKTS BEI DER KONDEN
SATION AUS DER DAMPFPHASE
5.1. EINLEITUNG - AUSWAHL DES DETEKTORTYPS 63
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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5.2. WIRKUNGSWEISE EINES BOLOMETERS UND ABLEITUNG
RELEVANTER PARAMETER 64
5.3. AUFBAU UND HERSTELLUNG DER DUENNSCHICHT
BOLOMETER 69
5.4. KENNDATEN UND BETRIEBSBEDINGUNGEN DER VER
WENDETEN BOLOMETER 72
5.5. KALIBRIERUNG DER BOLOMETER UND MESSUNG DES
THERMISCHEN EFFEKTS 75
5.6. BESONDERHEITEN BEI BOLOMETERMESSUNGEN MIT
EINER UNSYMMETRISCHEN WHEATSTONE-BRUECKE 79
6. MESSUNG DER KONDENSATIONSRATE
6.1. AUSWAHL DES MESSVERFAHRENS 83
6.2. DIE MASSE-FREQUENZ-BEZIEHUNG 85
6.3. EXPERIMENTELLE UEBERPRUEFUNG DER MASSE-FREQUENZ-
BEZIEHUNG 89
6.4. MESSUNG DER DIFFERENTIELLEN SCHICHTWAEGE-
EMPFINDLICHKEIT 93
6.5. MESSUNG AN SCHWINGQUARZEN MIT GEAENDERTER
, ELEKTRODENGEOMETRIE 96
6.6. VERGLEICH DER ERGEBNISSE UND PRAKTISCHE
MESSUNG DER KONDENSATIONSRATE 100
7. AUSWERTUNG DER MESSUNGEN UND INTERPRETATION
DER ERGEBNISSE
7.1. DARSTELLUNG DER MESSERGEBNISSE 103
7.2. INTERPRETATION DER MESSWERTE 106
8. MESSUNGEN DES THERMISCHEN EFFEKTS BEI KONDEN
SATION IN EINER RESTGASATMOSPHAERE
8.1. EINLEITENDE BEMERKUNGEN 110
8.2. GASKINETISCHE BETRACHTUNGEN ZUR VERDAMPFUNG
IN EINER RESTGASATMOSPHAERE 112
8.3. MESSUNGEN, ERGEBNISSE UND DISKUSSION 114
9. ZUSAMMENFASSUNG 119
10. LITERATURVERZEICHNIS |
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