Untersuchungen an integriert-optischen Strukturen für Druck- und Kraftsensoren:
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1993
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1
0.
INHALTSVERZEICHNIS
0.
INHALTSVERZEICHNIS
.
1
1.
EINLEITUNG
.
4
2.
DIE
KOMPONENTEN
DES
DRUCK
UND
KRAFTSENSORS
.
7
2.1.
INTEGRIERT
OPTISCHER
WELLENLEITER
.
9
2.2.
FASERANKOPPLUNG
.
10
2.3.
DIE
MEMBRAN.
11
2.4.
DIODENANKOPPLUNG
.
13
3.
HERSTELLUNG
.
IS
3.1.
OPTISCHE
SCHICHTEN
.
15
3.1.1.
THERMISCHE
OXIDATION
.
16
3.1.2.
LPCVD-BESCHICHTUNG
.
18
3.1.3.
PECVD-BESCHICHTUNG
.
22
3.2.
STRUKTURIERUNG
.
24
3.2.1.
PHOTOLITHOGRAPHIE
.
24
3.2.2.
PLASMAAETZANLAGE
.
27
3.3.
SCHICTDICKENMESSTECHNIK
.
31
3.3.1.
ELLIPSOMETER
.
31
3.3.I.I.
GRUNDLAGEN
DER
ELLIPSOMETRLE
.
33
3.3.2.
PROFIL
UND
SCHICHTDICKENMESSUNG
.
35
4.
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
37
4.1.
THEORIE
DER
ELASTOOPTIK
.
37
4.1.1.
POLARISIERBARKEIT
EINES
DIELEKTRIKUM
.
37
4.1.2.
EINFLUSS
VON
MECHANISCHEN
SPANNUNGEN
.
40
4.1.3.
EINFLUSS
DER
TEMPERATUR
.
45
4.2.
SCHICHTUNTERSUCHUNGEN
.
46
4.2.1.
INNERE
SPANNUNGEN
.
46
4.2.2.
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
.
48
4.2.3.
DEHNUNGSABHAENGIGKEIT
.
50
4.2.4.
AUSWAHL
DER
SION-SCHICHTEN
.
52
2
S.
THEORIE
DER
LICHTFUHRUNG
.
54
S.L.
FILMWELLENLEITER
.
S4
S.1.1.
PRISMENKOPPLER
.
60
S.2.
STREIFENLEITER
.
62
S.2.1.
EFFEKTIVE
INDEX
METHODE
.
64
S.2.2.
MACH-ZEHNDER-INTERFEROMETER
.
68
6.
DEHNUNGSSIMULATION
DER
SILIZIUMMEMBRAN
.
74
6.1.
GRUNDLAGEN
DER
FINITE-ELEMENTE-METHODE
.
74
6.1.1.
FEM-SIMULATION
EINES
EBENEN
BALKENELEMENTES.
78
6.2.
MEMBRANDEHNUNG
.
84
6.2.1.
GEOMETRIE
.
84
6.2.2.
DEHNUNGSVERTEILUNG
.
8S
6.3.
STREIFENVERFORMUNG
.
87
7.
UNTERSUCHUNGEN
AM
DRUCK
UND
KRAFTSENSOR
.
88
7.1.
MESSAUFBAU
.
88
7.2.
CHARAKTERISIERUNG
DER
WELLENFLLHRUNG
IM
DRUCK
UND
KRAFTSENSOR
.
90
7.2.1.
STREULICHTBETRACHTUNG
.
90
7.2.2.
NAHFELDBETRACHTUNG
.
93
7.2.3.
TEMPERATUREMPFINDLICHKEIT
.
94
7.2.4.
DRUCK
UND
KRAFTMESSUNG
.
97
8.
BESTIMMUNG
DER
ELASTOOPTISCHEN
KOEFFIZIENTEN
.
99
8.1.
BERECHNUNG
DER
PHASENVERSCHIEBUNG
.
99
8.1.1.
BERECHNUNG
MIT
HILFE
DER
GEMESSENEN
BRECHUNGSINDEXABHAENGIGKEITEN
.
99
8.1.2.
BERECHNUNG
MIT
HILFE
SPANNUNGSABHAENGIGEN
DOPPELBRECHUNG
.
101
8.2.
VERGLEICH
DER
ELASTOOPTISCHEN
KOEFFIZIENTEN
VON
CVD
SCHLCHTEN
UND
QUARZ
.
104
8.3.
DRUCK
UND
KRAFTEMPFINDLICHKEIT
.
106
8.4.
SENSOROPTIMIERUNGEN
.
109
9.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
111
10.
TABELLEN
.
116
3
11.
BILDER
.
121
12.
LITERATUR
.
174
ANHANG
.
183 |
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