Proceedings of the Symposium on Plasma Processing: 4. May 8 - 13, 1983, San Francisco, Calif. - 1983. - X, 649 S. : Ill., graph. Darst. - (... ; 83,10)
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Plasma Processing (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Soc. 1983
Schriftenreihe:Electrochemical Society: Proceedings volume 83,10
Schlagworte:

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