Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1993
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss. |
| Beschreibung: | 114 Bl. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009264188 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960927 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940319s1993 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 940316749 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)46198749 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009264188 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29T |a DE-12 |a DE-355 |a DE-91 |a DE-83 | ||
| 084 | |a ELT 285d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Schreiter, Steffen |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht |c von Steffen Schreiter |
| 264 | 1 | |c 1993 | |
| 300 | |a 114 Bl. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Quarz |0 (DE-588)4048011-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Quarz |0 (DE-588)4048011-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006165425&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006165425 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812461310140481536 |
|---|---|
| adam_text |
3
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
VERZEICHNIS DER VERWENDETEN SYMBOLE UND ABKUERZUNGEN . 5
VORWORT. 7
1. EINLEITUNG UND ZIELSTELLUNG.8
2. MATERIALABTRAG VON EINKRISTALLINEM QUARZ (SIOJ) IM NICHT-
ISOTHERMEN PLASMA . 10
2.1. CHEMISCHE UND PHYSIKALISCHE PROZESSE . 11
2.2. AETZRATE BESTIMMENDE PARAMETER . 14
2.3. STRUKTURERZEUGUNG IM AETZPROZESS. 20
3. EXPERIMENTELLER AUFBAU . 23
3.1. PRINZIP . 23
3.2. VERSUCHSANORDNUNG ZUM HOCHRATEPLASMAAETZEN. 24
3.2.1. ELEKTRODENANORDNUNG UND SUBSTRATE . 24
3.2.2. ELEKTRISCHE LEISTUNG. 27
3.2.3. VAKUUMSYSTEM UND GASVERSORGUNG . 28
4. CHARAKTERISIERUNG DER GLIMMENTLADUNG . 30
4.1. DIE NF - GLIMMENTLADUNG . 30
4.1.1. MESSMETHODEN. 30
4.1.2. ANORMALE UND HOHLKATHODENAEHNLICHE ENTLADUNG . 32
4.1.3. EXISTENZBEREICHE DER ENTLADUNGSFORMEN. 35
4.1.4. FREQUENZABHAENGIGKEIT DES ZUENDVERHALTENS. 37
4.2. DIE HF - GLIMMENTLADUNG. 40
4.2.1. MESSMETHODEN. 40
4.2.2. EXISTENZBEREICHE. 42
4.3. PLASMARANDSCHICHTEN . 44
4.3.1. LADUNGSTRAEGERHAUSHALT. 44
4.3.2. DIE KATHODENRANDSCHICHT. 46
4.3.3. DIE PLASMARANDSCHICHT IN DER HF - GLIMMENTLADUNG. 50
4.3.4. FOLGEN DES IONENTRANSPORTES FUER DEN AETZPROZESS . 53
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/940316749
4
SEITE
5. AETZPROFILE UND AETZRATEN. 59
5.1. AETZPROFILE. 59
5.1.1. MESSMETHODEN. . 59
5.1.2. AETZPROFILE IN VERSCHIEDENEN ELEKTRODENANORDNUNGEN. 62
5.1.3. PARAMETERABHAENGIGKEITEN DER AETZPROFILE. 65
5.1.3.1. AETZPROFILE ALS FUNKTION VON DRUCK UND ELEKTRODENGEO
METRIE IM ZUSAMMENHANG MIT DER GEOMETRIE DER PLASMA
RANDSCHICHT . 65
5.1.3.2. ABHAENGIGKEIT VON LEISTUNG UND AETZZEIT (PROFILTIEFE) . 74
5.2. AETZRATE. 77
5.2.1. MESSMETHODE UND ZEITABHAENGIGKEIT. 77
5.2.2. AETZRATE VON LEISTUNG UND DRUCK. 79
5.2.3. GEOMETRIE DER ZUSATZELEKTRODEN. 82
5.2.4. BETRACHTUNGEN ZUR AETZRATEBEGRENZUNG DURCH DIFFUSION . 85
5.3. OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE . 86
5.3.1. RAUHIGKEITEN DURCH FREMDPARTIKEL. 88
5.3.2. RAUHIGKEITEN DURCH INITIALSTRUKTUREN. 89
6. QUARZ - SCHWINGUNGSRESONATOREN . 93
6.1. 4UARZ UND ANWENDUNG ALS PIEZOELEKTRISCHER RESONATOR . 93
6.2. PLASMAGEAETZTE QUARZBLANKS ALS RESONATOREN . 95
7. ZUSAMMENFASSUNG. 99
8. LITERATUR.102
SELBSTAENDIGKEITSERKLAERUNG.109
THESEN . 110
LEBENSLAUF.114 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Schreiter, Steffen |
| author_facet | Schreiter, Steffen |
| author_role | aut |
| author_sort | Schreiter, Steffen |
| author_variant | s s ss |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009264188 |
| classification_tum | ELT 285d |
| ctrlnum | (OCoLC)46198749 (DE-599)BVBBV009264188 |
| discipline | Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV009264188</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960927</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940319s1993 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">940316749</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)46198749</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009264188</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 285d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schreiter, Steffen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht</subfield><subfield code="c">von Steffen Schreiter</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">114 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Quarz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4048011-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Quarz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4048011-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006165425&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006165425</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009264188 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T18:16:40Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006165425 |
| oclc_num | 46198749 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-91 DE-BY-TUM DE-83 |
| owner_facet | DE-29T DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-91 DE-BY-TUM DE-83 |
| physical | 114 Bl. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| record_format | marc |
| spelling | Schreiter, Steffen Verfasser aut Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht von Steffen Schreiter 1993 114 Bl. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss. Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd rswk-swf Quarz (DE-588)4048011-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Quarz (DE-588)4048011-2 s Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006165425&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schreiter, Steffen Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd Quarz (DE-588)4048011-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4174821-9 (DE-588)4048011-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht |
| title_auth | Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht |
| title_exact_search | Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht |
| title_full | Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht von Steffen Schreiter |
| title_fullStr | Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht von Steffen Schreiter |
| title_full_unstemmed | Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht von Steffen Schreiter |
| title_short | Strukturerzeugung beim Plasmaätzen von Quarz durch Strukturierung der Plasmarandschicht |
| title_sort | strukturerzeugung beim plasmaatzen von quarz durch strukturierung der plasmarandschicht |
| topic | Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd Quarz (DE-588)4048011-2 gnd |
| topic_facet | Plasmaätzen Quarz Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006165425&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT schreitersteffen strukturerzeugungbeimplasmaatzenvonquarzdurchstrukturierungderplasmarandschicht |