Kapazitiver Potentialkontrast: theoret. Deutung u. techn. Nutzung beim Elektronenstrahl-Test passivierter, höchstintegrierter Bausteine
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Nelissen-Wolff
1989
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| Schriftenreihe: | Duisburger Mikroelektronik
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| Beschreibung: | Zugl.: Duisburg, Univ.-Gesamthochsch., Diss. |
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