APA (7th ed.) Citation

(1993). Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren (Als Ms. gedr.). Kernforschungszentrum.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Entwicklung Eines Subtraktiven Strukturierungsverfahrens Zur Herstellung Von Röntgenzwischenmasken Für Das LIGA-Verfahren. Als Ms. gedr. Karlsruhe: Kernforschungszentrum, 1993.

MLA (9th ed.) Citation

Entwicklung Eines Subtraktiven Strukturierungsverfahrens Zur Herstellung Von Röntgenzwischenmasken Für Das LIGA-Verfahren. Als Ms. gedr. Kernforschungszentrum, 1993.