Semiconductor materials and process technology handbook for very large scale integration (VLSI) and ultra large scale integration (ULSI):
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Park Ridge, NJ Noyes Publ. 1988
Schriftenreihe:Materials science and process technology series
Schlagworte:
Beschreibung:XIII, 675 S.
ISBN:0815511507

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