Verfügbarkeit: Präparation und Charakterisierung von gesputterten a-Si:F-Schichten

Präparation und Charakterisierung von gesputterten a-Si:F-Schichten:

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Camargo, Alvaro Maniṅo (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Jülich 1987
Schriftenreihe:	Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der ... 2117
Schlagworte:	Dünne Schicht Fluor Optische Eigenschaft Silicium Sputtern Amorpher Zustand Elektrische Eigenschaft Hochschulschrift
Beschreibung:	Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.
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