Anwendung der Sekundärionen: Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1986
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999
86,034 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 51 S. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009220729 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940313s1986 |||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (OCoLC)74786026 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009220729 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-210 | ||
| 100 | 1 | |a Eichinger, Peter |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Anwendung der Sekundärionen |b Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik |
| 264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1986 | |
| 300 | |a 51 S. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999 |v 86,034 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sekundärionen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4077346-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Sekundärionen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4077346-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999 |t Deutschland <Bundesrepublik> |v 86,034 |w (DE-604)BV000004400 |9 86,034 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006130395 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804123663431106560 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Eichinger, Peter |
| author_facet | Eichinger, Peter |
| author_role | aut |
| author_sort | Eichinger, Peter |
| author_variant | p e pe |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009220729 |
| ctrlnum | (OCoLC)74786026 (DE-599)BVBBV009220729 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01323nam a2200325 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV009220729</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940313s1986 |||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74786026</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009220729</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-210</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Eichinger, Peter</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Anwendung der Sekundärionen</subfield><subfield code="b">Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1986</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">51 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999</subfield><subfield code="v">86,034</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sekundärionen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077346-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Sekundärionen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077346-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999</subfield><subfield code="t">Deutschland <Bundesrepublik></subfield><subfield code="v">86,034</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">86,034</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006130395</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV009220729 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:33:21Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006130395 |
| oclc_num | 74786026 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-210 |
| owner_facet | DE-210 |
| physical | 51 S. |
| publishDate | 1986 |
| publishDateSearch | 1986 |
| publishDateSort | 1986 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| series2 | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999 |
| spelling | Eichinger, Peter Verfasser aut Anwendung der Sekundärionen Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1986 51 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999 86,034 Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd rswk-swf Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 gnd rswk-swf Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 s Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 s DE-604 Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999 Deutschland <Bundesrepublik> 86,034 (DE-604)BV000004400 86,034 |
| spellingShingle | Eichinger, Peter Anwendung der Sekundärionen Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4039207-7 (DE-588)4077346-2 |
| title | Anwendung der Sekundärionen Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik |
| title_auth | Anwendung der Sekundärionen Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik |
| title_exact_search | Anwendung der Sekundärionen Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik |
| title_full | Anwendung der Sekundärionen Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik |
| title_fullStr | Anwendung der Sekundärionen Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik |
| title_full_unstemmed | Anwendung der Sekundärionen Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik |
| title_short | Anwendung der Sekundärionen |
| title_sort | anwendung der sekundarionen massenspektrometrie in d mikroelektronik |
| title_sub | Massenspektrometrie in d. Mikroelektronik |
| topic | Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 gnd |
| topic_facet | Mikroelektronik Sekundärionen-Massenspektrometrie |
| volume_link | (DE-604)BV000004400 |
| work_keys_str_mv | AT eichingerpeter anwendungdersekundarionenmassenspektrometrieindmikroelektronik |