The physics and chemistry of SiO 2 and the Si-SiO 2 interface 2: [proceedings of the Electronics and Dielectrics Science Divisions of the Electrochemical Society's Second Symposium on the Physics and Chemistry of the SiO 2 and Si-SiO 2 Interface, held May 18 - 21, 1992, in St. Louis, Missouri]
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York [u.a.] Plenum Press 1993
Schlagworte:
Beschreibung:XVI, 503 S. graph. Darst.
ISBN:0306444194

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