Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1984
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 84,1 -
84,52 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 82 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009069948 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940227s1984 d||| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)74663833 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009069948 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-210 | ||
| 100 | 1 | |a Bernt, Helmut |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium |c Helmut Bernt ; Hans Bartholomä* |
| 264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1984 | |
| 300 | |a 82 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 84,1 - |v 84,52 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumdioxid |0 (DE-588)4077447-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektrischer Durchschlag |0 (DE-588)4151731-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumdioxid |0 (DE-588)4077447-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Elektrischer Durchschlag |0 (DE-588)4151731-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Bartholomä, Hans |e Verfasser |4 aut | |
| 810 | 2 | |a Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 84,1 - |t Deutschland <Bundesrepublik> |v 84,52 |w (DE-604)BV000004400 |9 84,52 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006007721 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804123481625853952 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Bernt, Helmut Bartholomä, Hans |
| author_facet | Bernt, Helmut Bartholomä, Hans |
| author_role | aut aut |
| author_sort | Bernt, Helmut |
| author_variant | h b hb h b hb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009069948 |
| ctrlnum | (OCoLC)74663833 (DE-599)BVBBV009069948 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01416nam a2200337 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV009069948</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940227s1984 d||| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74663833</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009069948</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-210</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bernt, Helmut</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium</subfield><subfield code="c">Helmut Bernt ; Hans Bartholomä*</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1984</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">82 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 84,1 -</subfield><subfield code="v">84,52</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumdioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077447-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektrischer Durchschlag</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151731-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumdioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077447-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Elektrischer Durchschlag</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151731-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bartholomä, Hans</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 84,1 -</subfield><subfield code="t">Deutschland <Bundesrepublik></subfield><subfield code="v">84,52</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">84,52</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006007721</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV009069948 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:30:28Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006007721 |
| oclc_num | 74663833 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-210 |
| owner_facet | DE-210 |
| physical | 82 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1984 |
| publishDateSearch | 1984 |
| publishDateSort | 1984 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| series2 | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 84,1 - |
| spelling | Bernt, Helmut Verfasser aut Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium Helmut Bernt ; Hans Bartholomä* Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1984 82 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 84,1 - 84,52 Siliciumdioxid (DE-588)4077447-8 gnd rswk-swf Elektrischer Durchschlag (DE-588)4151731-3 gnd rswk-swf Siliciumdioxid (DE-588)4077447-8 s Elektrischer Durchschlag (DE-588)4151731-3 s DE-604 Bartholomä, Hans Verfasser aut Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 84,1 - Deutschland <Bundesrepublik> 84,52 (DE-604)BV000004400 84,52 |
| spellingShingle | Bernt, Helmut Bartholomä, Hans Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium Siliciumdioxid (DE-588)4077447-8 gnd Elektrischer Durchschlag (DE-588)4151731-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077447-8 (DE-588)4151731-3 |
| title | Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium |
| title_auth | Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium |
| title_exact_search | Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium |
| title_full | Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium Helmut Bernt ; Hans Bartholomä* |
| title_fullStr | Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium Helmut Bernt ; Hans Bartholomä* |
| title_full_unstemmed | Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium Helmut Bernt ; Hans Bartholomä* |
| title_short | Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium |
| title_sort | untersuchung zur verbesserung der stabilitat von thermischen oxiden auf poly und einkristallinem silizium |
| topic | Siliciumdioxid (DE-588)4077447-8 gnd Elektrischer Durchschlag (DE-588)4151731-3 gnd |
| topic_facet | Siliciumdioxid Elektrischer Durchschlag |
| volume_link | (DE-604)BV000004400 |
| work_keys_str_mv | AT bernthelmut untersuchungzurverbesserungderstabilitatvonthermischenoxidenaufpolyundeinkristallinemsilizium AT bartholomahans untersuchungzurverbesserungderstabilitatvonthermischenoxidenaufpolyundeinkristallinemsilizium |