Technologische Entwicklung für hochintegrierte MOS-Systeme:
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Bibliographic Details
Main Authors: Arndt, Jürgen (Author), Conze, Peter (Author), Sixt, Gerd (Author)
Format: Book
Language:German
Published: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1983
Series:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - 83,142
Subjects:
Physical Description:139 S. Ill., graph. Darst.

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