Technologische Entwicklung für hochintegrierte MOS-Systeme:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Arndt, Jürgen (VerfasserIn), Conze, Peter (VerfasserIn), Sixt, Gerd (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1983
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - 83,142
Schlagworte:
Beschreibung:139 S. Ill., graph. Darst.

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