Neue Technologien zur Metallisierung von Halbleiterbauelementen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Chadda, Madan Mohan (VerfasserIn), Scheffelmann, Franz (VerfasserIn), Stoeger, Wolfgang (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1983
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - 83,35
Schlagworte:
Beschreibung:59 S. graph. Darst.

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