APA (7th ed.) Citation

Horninger, K., Rüttenauer, W., & Schulte, H. (1982). Entwicklung einer 2 my-MOS-Prozeßlinie zur Fertigung von VLSI-Produkten. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Horninger, Karlheinz, Winfried Rüttenauer, and Heinrich Schulte. Entwicklung Einer 2 My-MOS-Prozeßlinie Zur Fertigung Von VLSI-Produkten. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982.

MLA (9th ed.) Citation

Horninger, Karlheinz, et al. Entwicklung Einer 2 My-MOS-Prozeßlinie Zur Fertigung Von VLSI-Produkten. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982.