Entwicklung einer 2 my-MOS-Prozeßlinie zur Fertigung von VLSI-Produkten:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1982
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 82,1 -
82,220 |
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| Beschreibung: | 72 S. zahlr. Ill. u. graph. Darst. |
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