Einfluß von Sauerstoff auf die Nitridierungskinetik von Silicium:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Marcks, Andreas (VerfasserIn)
Format: Mikrofilm Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: 1981
Schlagworte:
Beschreibung:Berlin, West, Diss.
Beschreibung:118 S. zahlr. Ill. u. graph. Darst.; 2 Mikrofiches 24x

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