Technologie der Grenzflächen an Halbleiter-Leistungsbauelementen mit Silikatglas-Passivierung:
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Bibliographic Details
Main Authors: Neidig, Arno (Author), Wahl, Georg (Author), Weimann, Klaus 1935- (Author)
Format: Book
Language:German
English
Published: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1978
Series:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 78,1 - 78,40
Subjects:
Physical Description:135 S. Ill., graph. Darst.

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