Technologie der Grenzflächen an Halbleiter-Leistungsbauelementen mit Silikatglas-Passivierung:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Neidig, Arno (VerfasserIn), Wahl, Georg (VerfasserIn), Weimann, Klaus 1935- (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
English
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1978
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 78,1 - 78,40
Schlagworte:
Beschreibung:135 S. Ill., graph. Darst.

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