APA (7th ed.) Citation

Schulz, M., Fahrner, W., & Blaha, R. (1978). Passivierung von Si-Leistungsbauelementen durch thermische Oxidation. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.

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Schulz, Max, Wolfgang Fahrner, and Richard Blaha. Passivierung Von Si-Leistungsbauelementen Durch Thermische Oxidation. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1978.

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Schulz, Max, et al. Passivierung Von Si-Leistungsbauelementen Durch Thermische Oxidation. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1978.