Passivierung von Si-Leistungsbauelementen durch thermische Oxidation:
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Format: | Buch |
Sprache: | Undetermined |
Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1978
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Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 78,1 -
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