Passivierung von Si-Leistungsbauelementen durch thermische Oxidation:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Schulz, Max 1939- (VerfasserIn), Fahrner, Wolfgang 1945- (VerfasserIn), Blaha, Richard (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1978
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 78,1 - 78,23
Schlagworte:
Beschreibung:109 S. 40 Ill. u. graph. Darst.

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